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產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu) ? 光柵尺閉環(huán)反饋
l ? 亞微米級(jí)重復(fù)定位精度 ? 直線(xiàn)度平面度優(yōu)于1μm
? 優(yōu)化線(xiàn)纜管理 ? 可定制化設(shè)計(jì)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFU-A系列是一款閉式氣浮導(dǎo)軌的雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，十字疊層結(jié)構(gòu)用于超精密加工、測(cè)試測(cè)量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用氧化鋁氣浮導(dǎo)軌、直線(xiàn)電機(jī)和光柵尺組成，十字疊層結(jié)構(gòu)，底軸為三氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，上軸的運(yùn)動(dòng)行程尺寸在底軸寬度范圍內(nèi)，防止上軸出現(xiàn)懸空下塌，改善疊層后上軸的精度性能。氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)為非接觸式，隨著時(shí)間地推移，不會(huì)出現(xiàn)磨損或性能下降。陶瓷材料彈性模量大、比剛度大，可有效提高系統(tǒng)剛性和帶寬，增加控制系統(tǒng)的相位裕度和幅值裕度。
精度性能
雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±0.2μm，重復(fù)定位精度±0.1μm，直線(xiàn)度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。
線(xiàn)纜管理
精心優(yōu)化管線(xiàn)彎曲半徑，防止動(dòng)作過(guò)程中線(xiàn)纜的拉伸影響到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能，使用高質(zhì)量的線(xiàn)纜，以確保無(wú)故障操作。
定制化
可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，重復(fù)定位精度±15nm。行程可接受定制。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFU-A-200-200 | QFU-A-300-300 | QFU-A-400-400 | ||||
軸系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 200 | 200 | 300 | 300 | 400 | 400 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.15 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.075 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ||
直線(xiàn)度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.3 | ±0.3 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.4 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.8 | ±0.8 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±2 | ±2 | ±3 | ±3 | ±3.5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | ||||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20 定制） | ||||||
最大負(fù)載 | kg | 20 | ||||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢(xún)我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌不受壓力影響，建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。