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產(chǎn)品特點
l ? 非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu) ? 面式十字疊層結(jié)構(gòu)
? 抗蠕動交叉滾柱導(dǎo)軌 ? 高動態(tài)性能，高精度
? 百納米級定位精度 ? 結(jié)構(gòu)可接受定制
應(yīng)用領(lǐng)域
RBLBAC系列是一款百納米級精度的雙軸精密運動臺，具有納米級微動步距，百納米級定位精度，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測、激光微加工、測試測量及光學(xué)檢測等領(lǐng)域。
結(jié)構(gòu)特點
每軸采用雙直線電機驅(qū)動，推力大，高動態(tài)性能，在低速運行時保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不會產(chǎn)生振動?？谷鋭咏徊鏉L柱直線導(dǎo)軌導(dǎo)向，線線接觸，運動平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。平面式疊層式結(jié)構(gòu)緊湊，降低XY軸高度，提升整體精度性能。
精度性能
雙軸精密運動臺的定位精度±0.3μm，高重復(fù)定位精度±75nm，直線度±0.75μm，是高精度場所的理想選擇。
精密控制
配合高性能的控制和驅(qū)動器，可提供優(yōu)異的伺服性能、先進的控制算法，從而提高動態(tài)性能，控制器有誤差補償功能。
定制化
定制斷電抱閘功能，抱閘后位置相比抱閘前位置漂移誤差10nm內(nèi)；定制用于真空環(huán)境下的版本，真空度到10^-7Torr；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振器等整套運動控制方案。
規(guī)格指標
型號 | 單位 | RBLBAC-100XY | RBLBAC-200XY | RBLBAC-300XY | |
行程 | mm | 100 x 100 | 200 x 200 | 300 x 300 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.3 |
標準值 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 | ||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
標準值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 |
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±3 | ±4 | ±5 |
標準值 | ±6 | ±7.5 | ±9 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1.5 | ±2 | ±2.5 |
標準值 | ±3 | ±4 | ±5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 300 | |||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 2,（5, 10 定制） | |||
最大負載 | kg | 20 | 40 | 50 |
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下的精度指標，最大速度和加速度取決于負載大小。