點擊圖片查看原圖
產(chǎn)品型號：ZYJG-2000。
激光清洗系統(tǒng)產(chǎn)品說明：
Ex-light是新一代準(zhǔn)分子激光清洗系統(tǒng)。采用了德國Mlase超穩(wěn)定的低功率準(zhǔn)分子激光器，通過光束傳導(dǎo)、勻化、投影技術(shù)，使激光均勻照射到材料表面，對材料進(jìn)行紫外激光加工。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊，集成度高，光路穩(wěn)定實用，光斑勻化效好，傳輸效率高，增強(qiáng)樣品表面激光能量密度，提高加工質(zhì)量和效率。
準(zhǔn)分子激光器：
逐層去除、非接觸式、無二次污染、無損耗。
應(yīng)用行業(yè)：
1、微電子行業(yè)：晶圓面板激光清洗、電路板清洗；
2、OLED微型顯示器芯片：芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗；
3、文物藝術(shù)品保護(hù)：無損還原；
4、汽車產(chǎn)業(yè)：各種焊接處焊后激光清洗；
5、其它：材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。
技術(shù)特點：
1、DUV準(zhǔn)分子激光器，短脈寬，高峰值功率；
2、靜態(tài)氣體壽命 >30天；
3、激光器壽命 >20億次脈沖；
4、多種光路方案，可定制；
5、反射/透射照明；
6、X，Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅(qū)動，1μm分辨率 ；
7、電動焦點控制（沿Z軸）；
8、配有同軸和離軸相機(jī)，模式識別軟件可選 ；
9、快速響應(yīng)時間，易于操作的軟件；
10、同軸機(jī)器視覺示意圖，所見即所得。
光束傳播特點：
1、能量控制 10-80% ；
2、投影縮倍4x-20x ，可定制；
3、工作距離>25mm；
4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ；
5、同軸顯微成像；
6、光斑勻化系統(tǒng)。
| 光路勻化介紹：微透鏡陣列勻光成像示意圖 |  | |
 | ||
 |  | |
| 晶圓清洗監(jiān)控界面-所見即所得 | 加工代碼、路線、導(dǎo)航界面 | 準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機(jī)器視覺系統(tǒng)示意圖 |
Mlase準(zhǔn)分子激光器：采用德國Mlase準(zhǔn)分子激光器作為光源，能量輸出穩(wěn)定，光束質(zhì)量好，有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護(hù)設(shè)計，使用簡便、安全、穩(wěn)定、高效。 |  | |
軟件功能：
圖形化加工路徑顯示
晶圓自動聚焦、自動對位
大視野晶圓導(dǎo)航圖
激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試
加工進(jìn)程控制、中斷自動恢復(fù)
芯片參數(shù)導(dǎo)入
壞點剔除功能
參數(shù)：
波長 | 193nm /248nm |
脈沖寬度 | 5-10 ns |
單光斑加工面積 | ＞400um x400um |
光學(xué)分辨率 | 1um |
最高能量密度 | >10J/cm2 |
脈沖穩(wěn)定性 | ≤2% |
脈沖重復(fù)頻率 | 1-1000Hz |
系統(tǒng)框架 | 大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu) |
機(jī)器視覺 | 同軸照明/觀察，所見即所得 |
投影物鏡 | 紫外超長工作距離物鏡 |
掩膜版位移臺 | 100mm x100mm，定位精度:±1um |
Z軸電動平臺 | 50mm行程，±1μm重復(fù)定位精度 |
衰減器 | 電動可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80% |
| 控制軟件 | LPCPro3D自動加工處理軟件 |