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設(shè)備簡(jiǎn)介
TOL-5100P/5050P/5030P皮秒激光微加工系統(tǒng)采用國(guó)際上先進(jìn)的超快激光器，適合多種苛求微細(xì)精密，敏感無(wú)損、干凈早齊的應(yīng)用，以“冷加工”為特色，主要應(yīng)用于陶瓷、硅片、玻璃、藍(lán)寶石、等薄、脆、硬、透明材料精密切割。劃線加工，加工表面無(wú)熱損傷現(xiàn)象，最小崩邊尺寸可達(dá)到5μm以?xún)?nèi)。
產(chǎn)品特征
1、冷切去除，皮秒級(jí)時(shí)間能量釋放，材料無(wú)受熱變性之虞;
2、定深去除，原子級(jí)反應(yīng)，控制加工深度幾乎不受材料種類(lèi)限制;
3、清凈去除，生成物呈離子態(tài)被收集，被加工面保持材料本色;
4、00級(jí)大理石工作臺(tái)，龍門(mén)結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定性極高;
5、專(zhuān)業(yè)軟件，應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)的表達(dá)，智能工程數(shù)據(jù)處理，易快設(shè)備操控;
6、選用全閉環(huán)直線電機(jī)，加工速度快，精度高，最小分辨率可達(dá)1μm;
7、獨(dú)有三維空間光學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，光學(xué)質(zhì)量?jī)?yōu)秀。
應(yīng)用領(lǐng)域
TOL-5100P/5050P/5030P皮秒激光微加工系統(tǒng)主要應(yīng)用于藍(lán)寶石、藍(lán)玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體等超硬透明易碎材料的激光切割、鉆孔等加工。
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