SHR激光波長(zhǎng)計(jì)可以方便的測(cè)量脈沖和連續(xù)激光器的波長(zhǎng)，精度達(dá)到+/- 3pm，整個(gè)波長(zhǎng)范圍是190-1100nm。光學(xué)分辨率(FWHM)可以達(dá)到30000(λ/Δλ(FWHM))，在紫外段，可以達(dá)到6pm，在近紅外波段可以達(dá)到40pm。SHR激光波長(zhǎng)計(jì)由于其測(cè)量的特點(diǎn)，也可以用于在線測(cè)量。

SHR激光波長(zhǎng)計(jì)并不是用于一般的寬光譜測(cè)量，但是，它憑借中階梯光柵，可以好的用于分析窄波長(zhǎng)的產(chǎn)品－在UV短的峰展寬0.5nm到近紅外波段的18nm。

特點(diǎn)：

l 準(zhǔn)確度高、光譜范圍寬

l 光譜分析

l 連續(xù)或脈沖激光測(cè)量

l 緊湊設(shè)計(jì)、無(wú)移動(dòng)部件

l 帶衰減器的光纖輸入

l 友好的操作軟件界面

技術(shù)參數(shù)：

WLMeter軟件：

    SHR激光波長(zhǎng)計(jì)光學(xué)分辨率                    SHR激光波長(zhǎng)計(jì)最大 

 193.3nm ArF 測(cè)量，可接光纖，也可接光學(xué)端口

  Diode laser λcenter=655.25nm, FWHM<0.022nm. 單個(gè)模式間隔170pm