德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-558.TCD

公司介紹：

北京漢達森機械技術有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產品進口貿易的公司。主要產品有工業(yè)自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。

應用領域：

計量

干涉測量

光子學/集成光學

平版印刷術

納米定位

掃描顯微鏡

樣本對準

微加工

型號：P-558.TCD

主動軸：Z,θX,θY

集成傳感器：電容式

-20至120伏時Z向上的開環(huán)行程：60微米

θX、θY向上-20至120伏時的開環(huán)偏擺角：±0.3毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：50微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±0.25毫弧度

Z向上的開環(huán)分辨率：0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.02微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.05微弧度

θX、θY向上的線性誤差：0.03%

Z向上的重復精度：±5納米

θX、θY向上的重復精度：±0.03微弧度

θZ向上的串擾（Z向運動）：<10微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：<50微弧度