德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-528.TCD

公司介紹：

北京漢達森機械技術有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內(nèi)一些貿(mào)易商，設備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購服務。

應用領域：

計量

干涉測量

光子學/集成光學

平版印刷術

納米定位

掃描顯微鏡

樣本對準

微加工

型號：P-528.TCD

主動軸：Z,θX,θY

集成傳感器：電容式

-20至120伏時Z向上的開環(huán)行程：240微米

θX、θY向上-20至120伏時的開環(huán)偏擺角：±1.2毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：200微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±1毫弧度

Z向上的開環(huán)分辨率：0.6納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.06微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：1納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.1微弧度

θX、θY向上的線性誤差：0.03%

Z向上的重復精度：±10納米

θX、θY向上的重復精度：±0.1微弧度

θZ向上的串擾（Z向運動）：<20微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：<100微弧度