半導(dǎo)體光刻光源的主要生產(chǎn)廠商Gigaphoton株式會(huì)社（總公司地址: 栃木縣小山市，董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理: 都丸仁）發(fā)布消息說：該公司已經(jīng)利用可靠性較高的半導(dǎo)體光刻用準(zhǔn)分子激光器成功開發(fā)了一種“GIGANEX”系列退火裝置專用的準(zhǔn)分子激光器，該裝置搭載于株式會(huì)社V Technology【7717（東證1部）】的微型激光退火裝置上，用于大型液晶制造設(shè)備工廠的LTPS（低溫多晶硅）的生產(chǎn)。

近年來，為了將在半導(dǎo)體光刻用準(zhǔn)分子激光器領(lǐng)域長(zhǎng)期積累的技術(shù)應(yīng)用到其他領(lǐng)域，Gigaphoton一直在推進(jìn)用于FPD制造領(lǐng)域a-Si（非晶硅）膜的微型激光退火工序的準(zhǔn)分子激光器的開發(fā)工作，并將開發(fā)成功的新型準(zhǔn)分子激光器“GIGANEX”的試制機(jī)交付給了面板生產(chǎn)廠商。 在2016年5月22-27日于美國(guó)舉辦的Display Week 2016上展出了試制面板，引起了巨大轟動(dòng)。

該“GIGANEX”系列退火裝置專用的準(zhǔn)分子激光器系V Technology公司生產(chǎn)的裝置的專用機(jī)，是作為微型激光退火工序的光源開發(fā)的。微型激光退火裝置的特點(diǎn)是，導(dǎo)入現(xiàn)有的a-Si面板的制造工序后，使a-Si結(jié)晶成p-Si（多晶硅），可以制造8K等規(guī)格的高精細(xì)面板，這是憑借以前的a-Si工藝所不可能實(shí)現(xiàn)的。另外，PLAS還適合于采用以往的激光退火工序難以實(shí)現(xiàn)的大型面板規(guī)格，并且也可以適用于制造的50~70英寸的電視面板的大型液晶制造設(shè)備工廠。

　 Gigaphoton董事長(zhǎng)、總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官都丸仁先生說：“本公司面向新領(lǐng)域的準(zhǔn)分子激光器GIGANEX已經(jīng)在FPD業(yè)界登場(chǎng)。能夠?yàn)槊姘迳a(chǎn)廠商的LTPS TFT液晶面板的試制成功做出貢獻(xiàn)，我們感到由衷的高興。今后GIGANEX將成為FPD制造領(lǐng)域嶄新的解決方案，我們期待著它能夠?yàn)闃I(yè)界做出貢獻(xiàn)。”

關(guān)于GIGANEX
新型準(zhǔn)分子激光器“GIGANEX”是Gigaphoton公司充分利用長(zhǎng)期以來在半導(dǎo)體光刻用準(zhǔn)分子激光器領(lǐng)域積累的技術(shù)實(shí)力開發(fā)而成，是準(zhǔn)分子激光器的一個(gè)新品牌，面向FPD制造、柔性設(shè)備工藝及光刻以外的半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。該公司將不斷與合作伙伴共同開展創(chuàng)新，探索準(zhǔn)分子激光器更深層次的可能性，并提供GIGANEX的解決方案。