單脈沖激光指的是幾分鐘才輸出一個脈沖的激光,重頻激光指的是每分鐘輸出幾次到每秒輸出數(shù)百次甚至更高的激光。
一、氣體激光器
1.He-Ne激光器:典型的惰性氣體原子激光器,輸出連續(xù)光,譜線有632.8nm(最常用),1015nm,3390nm,近來又向短波延伸。這種激光器輸出地功率最大能達到1W,但光束質(zhì)量很好,主要用于精密測量,檢測,準直,導向,水中照明,信息處理,醫(yī)療及光學研究等方面。
2.Ar離子激光器:典型的惰性氣體離子激光器,是利用氣體放電試管內(nèi)氬原子電離并激發(fā),在離子激發(fā)態(tài)能級間實現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)而產(chǎn)生激光。它發(fā)射的激光譜線在可見光和紫外區(qū)域,在可見光區(qū)它是輸出連續(xù)功率最高的器件,商品化的最高也達30-50W。它的能量轉(zhuǎn)換率最高可達0.6%,頻率穩(wěn)定度在3E-11,壽命超過1000h,光譜在藍綠波段(488/514.5),功率大,主要用于拉曼光譜、泵浦染料激光、全息、非線性光學等研究領域以及醫(yī)療診斷、打印分色、計量測定材料加工及信息處理等方面。
3.CO2激光器:波長為9~12um(典型波長10.6um)的CO2激光器因其效率高,光束質(zhì)量好,功率范圍大(幾瓦之幾萬瓦),既能連續(xù)又能脈沖等多優(yōu)點成為氣體激光器中最重要的,用途最廣泛的一種激光器。主要用于材料加工,科學研究,檢測國防等方面。常用形式有:封離型縱向電激勵二氧化碳激光器、TEA二氧化碳激光器、軸快流高功率二氧化碳激光器、橫流高功率二氧化碳激光器。
4.N2分子激光器:氣體激光器,輸出紫外光,峰值功率可達數(shù)十兆瓦,脈寬小于10ns,重復頻率為數(shù)十至數(shù)千赫,作可調(diào)諧燃料激光器的泵浦源,也可用于熒光分析,檢測污染等方面。
5.準分子激光器:以準分子為工作物質(zhì)的一類氣體激光器件。常用電子束(能量大于200千電子伏特)或橫向快速脈沖放電來實現(xiàn)激勵。當受激態(tài)準分子的不穩(wěn)定分子鍵斷裂而離解成基態(tài)原子時,受激態(tài)的能量以激光輻射的形式放出。
準分子激光物質(zhì)具有低能態(tài)的排斥性,可以把它有效地抽空,故無低態(tài)吸收與能量虧損,粒子數(shù)反轉(zhuǎn)很容易,增益大,轉(zhuǎn)換效率高,重復率高,輻射波長短,主要在紫外和真空紫外(少數(shù)延伸至可見光)區(qū)域振蕩,調(diào)諧范圍較寬。
它在分離同位素,紫外光化學,激光光譜學,快速攝影,高分辨率全息術,激光武器,物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究,光通信,遙感,集成光學,非線性光學,農(nóng)業(yè),醫(yī)學,生物學以及泵浦可調(diào)諧染料激光器等方面已獲得比較廣泛的應用,而且可望發(fā)展成為用于核聚變的激光器件。
二、固體激光器
1.YAG激光器:可分為:Nd-YAG晶體、Ce-Nd-YAG晶體、Yb-YAG晶體、Ho-YAG晶體、Er-YAG晶體。
Nd-YAG激光器:固體激光器,1064nm,Nd-YAG目前綜合性能最為優(yōu)異的激光晶體,連續(xù)激光器的最大輸出功率1000W,廣泛用于軍事、工業(yè)和醫(yī)療等行業(yè)。 若采用連續(xù)的方式運轉(zhuǎn),采用一級振蕩可以獲得400W的多模輸出,若要輸出在百瓦級的激光器,采用單燈單棒,200W以上的采用雙燈單棒結(jié)構(gòu)。
Nd-YAG激光器不僅適合連續(xù),而且在高重頻下運轉(zhuǎn)性能也很優(yōu)越。重頻可達100~200次/s,最高平均功率可400w。采用多級串聯(lián)來實現(xiàn)高功率輸出,目前平均功率最高可達到上600~800瓦,重頻可達80~200次/s,單脈沖能量可達80J。
Ce-Nd-YAG激光器:在Nd-AG晶體的基礎上添加Ce離子形成Ce-Nd-YAG。利用Ce離子能對紫外光譜區(qū)光子能量產(chǎn)生很好的吸收,并且將能量以無輻射躍遷的方式傳遞給Nd離子,從而增加了光譜的利用率,因此效率高、閾值低、重復頻率特性好。
Yb-YAG激光器:Yb3+摻入YAG基質(zhì)中形成的一種產(chǎn)生1.03um近紅外激光的激光晶體,其與Nd-YAG屬于同一種基質(zhì),但由于摻雜不同而導致生長工藝有所不同。
摻Y(jié)b-YAG由于量子效率高,晶體光譜簡單,無激發(fā)態(tài)吸收和上轉(zhuǎn)換,且無熒光濃度猝滅,摻雜濃度高,有較長的熒光壽命,吸收帶帶寬比Nd-YAG寬得多,能與二極管的泵浦波長有效耦合。在相同的輸入功率下,Yb-YAG泵浦生熱僅為Nd-YAG的1/4。
而且YAG基質(zhì)的物化特性綜合性能最為優(yōu)良,所以Yb-YAG已成為最引人注目的固體激光介質(zhì)之一,LD泵浦的高功率Yb-YAG固體激光器成為新的研究熱點,并將其視為發(fā)展高效、高功率固體激光器的一個主要方向。
Ho-YAG激光器:可產(chǎn)生對人眼安全的2097nm和2091nm激光,主要適用于光通信,雷達和醫(yī)學應用。Ho-YAG激光器對冷卻和干燥度有嚴格的要求,水冷控制在10攝氏度以下。干燥裝置要確保沒有水蒸氣的影響。處于對人眼安全波段的范圍內(nèi),由于水吸收大,穿透深度非常淺,大大降低了對人體特別是對眼睛的意外傷害的可能性。
Er-YAG激光器:輸出2.9um的波長,能被水吸收,主要應用在醫(yī)學中。該晶體主要吸收可見光和紫外光,所以光腔反射鏡的材料多使用又高反射的鋁和銀。目前Er-YAG激光器的最大輸出功率可達3瓦,最大脈沖輸出可達到5J。是迄今輸出功率最大的效率最高的長波長固體激光器。人體對2940nm的吸收是10640nm的十倍,所以激光外科和血管外科有很大的應用潛力。
2.紅寶石激光器:紅寶石只能在低溫條件下實現(xiàn)連續(xù)輸出,而且閾值很高,所以至今還沒有造出在室溫下工作的輸出連續(xù)的紅寶石激光器。適合做單次或低重頻的脈沖激光器。單脈沖能量可達1~20J,重頻5~10,單脈沖能量可達1J左右。
3.銣玻璃激光器:銣玻璃也在室溫下難以運轉(zhuǎn)。適合做單次或低重頻的脈沖激光器。重頻限制在5次/s,單次脈沖能量可達10~80J。
三、半導體二極管激光器
半導體二極管激光器是以一定的半導體材料做工作物質(zhì)而產(chǎn)生受激發(fā)射作用的器件。其工作原理是,通過一定的激勵方式,在半導體物質(zhì)的能帶(導帶與價帶)之間,或者半導體物質(zhì)的能帶與雜質(zhì)(受主或施主)能級之間,實現(xiàn)非平衡載流子的粒子數(shù)反轉(zhuǎn),當處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)的大量電子與空穴復合時,便產(chǎn)生受激發(fā)射作用。 發(fā)光波長隨禁帶寬度而改變。
半導體激光器的激勵方式主要有三種:即電注入式,光泵式和高能電子束激勵式。
電注入式半導體激光器一般是由GaAS(砷化鎵),InAS(砷化銦),Insb(銻化銦)等材料制成的半導體面結(jié)型二極管,沿正向偏壓注入電流進行激勵,在結(jié)平面區(qū)域產(chǎn)生受激發(fā)射。
光泵式半導體激光器,一般用N型或P型半導體單晶(如GaAS,InAs,InSb等)做工作物質(zhì),以其他激光器發(fā)出的激光作光泵激勵。
高能電子束激勵式半導體激光器,一般也是用N型或者P型半導體單晶(如PbS,CdS,ZhO等)做工作物質(zhì),通過由外部注入高能電子束進行激勵。
目前最最常用的是具有雙異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電注入式GaAs二極管激光器,常見為635紅光;氮化銦鎵(InGaN) 二極管激光器,常見為532綠光和405藍光。二極管激光器發(fā)射的激光可以用高斯光束來進行描述,其特點是一個長條形的發(fā)射體,且在水平和垂直方向的發(fā)射角不同。通常在水平只有幾度,而垂直可達40度。在大多光耦合技術中,水平角忽略不計,將垂直的角作為而激光激光器的發(fā)散角。
主要應用于電子信息。光纖通信、光傳感、光盤、激光打印、條形掃碼、集成光學領域。
400~780nm應用用于條形掃描、檢測、光存儲、激光打印等。
790~1020nm的應用于條形掃碼、激光打印、光存儲等領域。近年來大功率半導體激光器已經(jīng)有長足的進步,連續(xù)輸出功率可達1~20w。
1300 與1550 分別在硅光纖零色散和最低損耗窗口,相應的半導體主要用于長距離大容量干線光通信。
介于1300 與1550之間的1480近年來輸出功率可達50~100mw。
四、染料激光器
其突出的優(yōu)點是輸出波長可調(diào)諧,它不僅可以獲得從0.3~1.3um光譜內(nèi)的可調(diào)諧的窄帶高功率激光,而且還可以通過混頻技術獲得從紫外到中紅外的可調(diào)諧相干光,因此目前主要用于光譜學研究。
五、光纖激光器
光纖激光器應用范圍非常廣泛,包括激光光纖通訊、激光空間遠距通訊、工業(yè)造船、汽車制造、激光雕刻激光打標激光切割、印刷制輥、金屬非金屬鉆孔/切割/焊接、軍事國防安全、醫(yī)療器械儀器設備、大型基礎建設等等。
玻璃光纖制造成本低、技術成熟及其光纖的可饒性所帶來的小型化、集約化優(yōu)勢;玻璃光纖對入射泵浦光不需要像晶體那樣的嚴格的相位匹配,這是由于玻璃基質(zhì)Stark 分裂引起的非均勻展寬造成吸收帶較寬的緣故; 玻璃材料具有極低的體積面積比,散熱快、損耗低,所以上轉(zhuǎn)換效率較高,激光閾值低; 輸出激光波長多:這是因為稀土離子能級非常豐富及其稀土離子種類之多; 可調(diào)諧性:由于稀土離子能級寬和玻璃光纖的熒光譜較寬。
由于光纖激光器的諧振腔內(nèi)無光學鏡片,具有免調(diào)節(jié)、免維護、高穩(wěn)定性的優(yōu)點,這是傳統(tǒng)激光器無法比擬的。 光纖導出,使得激光器能輕易勝任各種三維任意空間加工應用,使機械系統(tǒng)的設計變得非常簡單。 勝任惡劣的工作環(huán)境,對灰塵、震蕩、沖擊、濕度、溫度具有很高的容忍度。 不需熱電制冷和水冷,只需簡單的風冷。
高的電光效率:綜合電光效率高達20%以上,大幅度節(jié)約工作時的耗電,節(jié)約運行成本。高功率,目前商用化的光纖激光器可達六千瓦。
六、自由電子激光器
輸出的激光波長與電子的能量有關:故改變電子束的加速電壓就可以改變激光波長,這叫做電壓調(diào)諧,其調(diào)諧范圍很寬,原則上可以在任意波長上運轉(zhuǎn)。
在現(xiàn)有的電子槍和加速器的實驗條件下,可以獲得從毫米波到光頻波段范圍內(nèi)的連續(xù)調(diào)諧的相干輻射。自由電子激光器的輸出功率與電子束的能量、電流密度以及磁感應強度有關,它可望成為一種高平均功率、高效率(理論極限達40%)、高分辨率的具有穩(wěn)定功率和頻率輸出的激光器件,采用它能夠避免某些工藝上的麻煩(如激光工作物質(zhì)稀缺、有毒或腐蝕金屬、玻璃),另外,它基本上不存在使用壽命問題。
自由電子激光器在短波長、大功率、高效率和波長可調(diào)節(jié)這四大主攻方向上,為激光學科的研究開辟了一條新途徑,它可望用于對凝聚態(tài)物理學、材料特征、激光武器、激光反導彈、雷達、激光聚變、等離子體診斷、表面特性、非線性以及瞬態(tài)現(xiàn)象的研究,在通訊、激光推進器、光譜學、激光分子化學、光化學、同位素分離、遙感等領域,它應用的前景也很可觀。 美國機載激光武器系統(tǒng)機載激光武器系統(tǒng)所使用的就是高能化學碘氧自由電子激光器(COIL)。
七、二極管泵浦固體激光器
二極管激光器和二極管泵浦的固體激光器現(xiàn)已成為固體激光器發(fā)展的主流,合并轉(zhuǎn)換效率高,穩(wěn)定性好,可靠性高,是至今唯一不需維護的激光系統(tǒng),輸出質(zhì)量高,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊等特點。二極管泵浦固體激光器的關鍵技術:光耦合技術,泵浦技術,冷卻技術與電源技術。這種激光器輸出功率可以大范圍變化,即從幾十瓦到幾千瓦,市場上商用最大的可達6000w.
八、固體紫外激光
目前主要有以下兩種方式:
(1)直接倍頻LD輸出獲得紫外激光。 通過二次倍頻紅外得到紫外,具有較高的光光轉(zhuǎn)換效率,但要求LD不僅能夠輸出較高,而且還必須實現(xiàn)單頻運轉(zhuǎn)。
(2) LD泵浦,非線性光學頻率轉(zhuǎn)換的紫外激光器。該方法主要是利用激光二極管的發(fā)射帶與銣離子的吸收帶符合的很好,減少能量的內(nèi)積,從而降低熱透鏡效應,改善光束質(zhì)量,獲得很高的泵浦效率。
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