近期，中國科學院上海光學精密機械研究所精密光學制造與檢測中心實驗室在激光近無應力燒蝕理論及工藝研究中取得新進展。

研究首次揭示了激光燒蝕過程中加工形貌及殘余熱應力的分布行為及演變規(guī)律。研究建立了激光燒蝕的三維多物理場耦合模型，通過光學遲滯和應力雙折射對燒蝕后的熱應力進行了量化，成功獲得了有/無熱應力的加工判據(jù)。

同時，該模型揭示了不同加工參數(shù)下應力及形貌的時間/空間分布及其演變規(guī)律，得到的模擬結果與實驗結果吻合較好，誤差小于10%。本研究有助于深入了解激光燒蝕過程，為實現(xiàn)高表面質量和近無熱應力的激光燒蝕奠定了理論基礎，對光學元件超精密制造有重要意義。相關研究成果發(fā)表在Optics Express上。