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光學平臺

Zygo NewView5020 表面輪廓儀

星之球科技 來源：中科院大連物理化學研究2011-07-29 我要評論(0 )   

Technical Performance Vertical (Z) Scan Range: 5 mm Vertical (Z) Scan Rate: 10 mm/sec Vertical (Z) Resolution: 0.1 nm Lateral (X, Y) Resolution Range: 0.45 1...

 


 

Technical Performance

·Vertical (Z) Scan Range: < 5 mm

·Vertical (Z) Scan Rate: < 10 mm/sec

·Vertical (Z) Resolution: > 0.1 nm

·Lateral (X, Y) Resolution Range: 0.45 – 11.8 mm

·Field of View Range: 0.04 – 17.5 mm; larger areas can be imaged with field stitching capability

·Step Height Accuracy: < 0.75% (Model 5032)

·Step Height Repeatability: < 0.1% (Model 5032)

 

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