閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
激光檢測(cè)

激光三角檢測(cè)技術(shù)

星之球激光 來源:光學(xué)光電子行業(yè)網(wǎng)2011-08-13 我要評(píng)論(0 )   

在激光三角檢測(cè)術(shù)中,用一精細(xì)聚焦的激光束來掃描圓片表面,光學(xué)系統(tǒng)將反射的激光聚焦到探測(cè)器(圖1)。采用3D激光三角檢測(cè)術(shù)來檢測(cè)微凸點(diǎn)的形貌時(shí),在精度、速度和可檢...

       在激光三角檢測(cè)術(shù)中,用一精細(xì)聚焦的激光束來掃描圓片表面,光學(xué)系統(tǒng)將反射的激光聚焦到探測(cè)器(圖1)。采用3D激光三角檢測(cè)術(shù)來檢測(cè)微凸點(diǎn)的形貌時(shí),在精度、速度和可檢測(cè)性等方面它具有明顯的優(yōu)勢(shì)。這一檢測(cè)技術(shù)目前所面臨的挑戰(zhàn)包括有凸點(diǎn)的尺寸和凸點(diǎn)之間的間隔都很小,以及在整個(gè)圓片上布滿有數(shù)百萬個(gè)凸點(diǎn)。

 
圖1. 激光三角檢測(cè)術(shù)通過對(duì)精確聚焦激光探測(cè)束的反射來推算凸點(diǎn)的高度

  激光三角檢測(cè)術(shù)在激光探測(cè)束的掃描過程中能獲得硅基片和凸點(diǎn)頂部數(shù)據(jù),由于它對(duì)凸點(diǎn)表面及其周邊的基片只進(jìn)行單次的掃描,這樣就可以消除了在不同高度進(jìn)行多次掃描而帶來的誤差和內(nèi)在的不確定性。單次掃描方法可對(duì)z方向進(jìn)行高準(zhǔn)確度和高精密度的檢測(cè),其性能可以達(dá)到探測(cè)器的理論分辨率——這要比目前凸點(diǎn)尺寸小一個(gè)數(shù)量級(jí)以上。

  激光三角檢測(cè)術(shù)除了具有很高的檢測(cè)準(zhǔn)確度和精確度以外,它還具有與生產(chǎn)能力相當(dāng)?shù)臋z測(cè)速度,數(shù)據(jù)的采集速率足以滿足大生產(chǎn)過程中對(duì)整個(gè)圓片進(jìn)行檢測(cè)的需求。在全晶圓檢測(cè)模式中,系統(tǒng)通過一系列相近的線掃描來覆蓋整個(gè)圓片,單個(gè)掃描為600μm寬的長(zhǎng)條形區(qū)域,所產(chǎn)生的典型數(shù)據(jù)密度為40,000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)/mm2(圖2)。變換采樣密度可對(duì)檢測(cè)過程進(jìn)行優(yōu)化,以最大程度地滿足某些特別應(yīng)用對(duì)分辨率、精確度和產(chǎn)量的要求,而且還可以很容易地滿足將來凸點(diǎn)直徑和節(jié)距進(jìn)一步減小后對(duì)檢測(cè)的要求。數(shù)據(jù)密度能夠根據(jù)所需的特征尺寸和產(chǎn)量進(jìn)行增加或減小。該系統(tǒng)可以在高產(chǎn)量下實(shí)現(xiàn)全晶圓的檢測(cè),通過實(shí)施僅檢測(cè)指定芯片的采樣計(jì)劃,就有可能在維持檢測(cè)統(tǒng)計(jì)有效性的情況下來增加檢測(cè)產(chǎn)量。

 

轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

暫無關(guān)鍵詞
免責(zé)聲明

① 凡本網(wǎng)未注明其他出處的作品,版權(quán)均屬于激光制造網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。獲本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使 用,并注明"來源:激光制造網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)責(zé)任。
② 凡本網(wǎng)注明其他來源的作品及圖片,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),版權(quán)歸原作者所有,如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系我們刪除。
③ 任何單位或個(gè)人認(rèn)為本網(wǎng)內(nèi)容可能涉嫌侵犯其合法權(quán)益,請(qǐng)及時(shí)向本網(wǎng)提出書面權(quán)利通知,并提供身份證明、權(quán)屬證明、具體鏈接(URL)及詳細(xì)侵權(quán)情況證明。本網(wǎng)在收到上述法律文件后,將會(huì)依法盡快移除相關(guān)涉嫌侵權(quán)的內(nèi)容。

網(wǎng)友點(diǎn)評(píng)
0相關(guān)評(píng)論
精彩導(dǎo)讀