銻鉍合金薄膜是一種新型超分辨光學(xué)功能材料,了解它的基本光學(xué)性質(zhì)對(duì)其在光學(xué)信息存儲(chǔ)及光子器件應(yīng)用方面具有重要意義。用磁控濺射法制備了不同成分的銻鉍合金薄膜(Sb1-XBiX,X=0,0.1,0.2,0.3,0.88,1),用橢圓偏振法測(cè)量了薄膜的光學(xué)常數(shù)(折射率n和消光系數(shù)k)。研究表明,在可見(jiàn)光波段(300~850 nm),銻鉍合金膜的折射率和消光系數(shù)都隨著鉍含量的增加而減小,且薄膜折射率和消光系數(shù)同時(shí)隨波長(zhǎng)的增加而增加,折射率呈現(xiàn)反常色散特性。用原子力顯微鏡、X射線衍射儀研究了成分變化對(duì)薄膜表面形貌和微結(jié)構(gòu)的影響。研究表明,銻鉍合金薄膜的微觀結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)多晶態(tài),晶化程度隨著鉍含量的增加而增加,這可能是影響其光學(xué)常數(shù)變化的主要因素。
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