【摘要】 針對光頻調(diào)諧器件壓電陶瓷的形變滯后對測量精度的影響,提出了一種采用局部二次曲線過渡的激光器驅(qū)動信號波形的修正方法。利用掃描法布里-帕羅干涉儀測得的光頻率掃描時間,建立了激光器掃頻驅(qū)動過程的傳遞函數(shù)模型,采用最小二乘峰值檢測法來識別干涉信號的波峰,通過建立的激光器掃頻驅(qū)動控制傳遞函數(shù)模型,對激光器光頻率非線性輸出進(jìn)行了補償。實驗結(jié)果表明,激光掃頻驅(qū)動信號波形修正方法可消除干涉信號轉(zhuǎn)折處的波形畸變,而相位測量、激光器輸出的補償方法可將測量系統(tǒng)的重復(fù)精度、定位精度提高約10倍。 更多還原
【關(guān)鍵詞】 驅(qū)動信號; 相位測量; 非線性輸出;
新型可調(diào)諧外腔半導(dǎo)體激光器光頻掃描干涉測距的方法 |
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