準(zhǔn)分子激光氣體（Excimer Laser Gases)主要參數(shù)：
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可用波長 |
193 nm |
ArF |
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248 nm |
KrF |
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308 nm |
XeCl |
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450nm~520nm |
XeF |
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最大紫外功率 |
540 W |
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最大紫外能量 |
1100 mj |
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重復(fù)頻率 |
可變， 1~600 Hz |
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脈沖穩(wěn)定性 |
0.5%~1%，rms |
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長期漂移 |
0.1%~0.5%，rms |
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光束分布 |
均勻，平頂 |
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脈沖寬度 |
10~20 ns |
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相關(guān)氣體純度 |
F2, 99.9% |
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氣體工作溫度 |
- 40 0C ~ + 74 0C |
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氣體壓力 |
520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar |
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鋼瓶規(guī)格 |
10L、16L、20L、50L |
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閥門接口 |
CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14 |
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適用于近視眼矯正手術(shù)、白癜風(fēng)治療等醫(yī)療應(yīng)用：
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適用機(jī)型 |
波長 |
鋼瓶規(guī)格 |
閥門規(guī)格 |
工作氣體 |
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鷹視（COHERENT） |
193 |
20 L |
DIN 8 |
F2, 99.9% |
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博士倫（B & L） |
193 |
20 L、50 L |
DIN 8 |
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蔡司（ZEISS） |
193 |
10L、20 L |
DIN 8 |
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威視（VISX） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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尼德克（NIDEK） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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雷賽（LASERSIGHT） |
193 |
10 L |
CGA 679 |
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愛爾康（Alcon） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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康奧（SCHWIND） |
193 |
20 L |
DIN 8、 DIN 14 |
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視可佳（六六視覺） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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森美（SUMMIT） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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