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激光清洗系統(tǒng):專業(yè)的全自動(dòng)芯片PAD管腳清洗設(shè)備

品牌:
準(zhǔn)源激光
價(jià)格:
0.00
起訂:
0
供貨總量:
0
發(fā)貨期限:
自買家付款之日起 60 天內(nèi)發(fā)貨
地址:
河北省廊坊市固安縣東方街24號(hào)院內(nèi)
有效期限:
長(zhǎng)期有效
最后更新:
2024-08-10
商品詳情

產(chǎn)品型號(hào):ZYJG-2000。

激光清洗系統(tǒng)產(chǎn)品說(shuō)明:


        Ex-light是新一代準(zhǔn)分子激光清洗系統(tǒng)。采用了德國(guó)Mlase超穩(wěn)定的低功率準(zhǔn)分子激光器,通過(guò)光束傳導(dǎo)、勻化、投影技術(shù),使激光均勻照射到材料表面,對(duì)材料進(jìn)行紫外激光加工。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊,集成度高,光路穩(wěn)定實(shí)用,光斑勻化效好,傳輸效率高,增強(qiáng)樣品表面激光能量密度,提高加工質(zhì)量和效率。

準(zhǔn)分子激光器:

       逐層去除、非接觸式、無(wú)二次污染、無(wú)損耗。

應(yīng)用行業(yè):

        1、微電子行業(yè):晶圓面板激光清洗、電路板清洗;

        2、OLED微型顯示器芯片:芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗;

        3、文物藝術(shù)品保護(hù):無(wú)損還原;

        4、汽車產(chǎn)業(yè):各種焊接處焊后激光清洗;

        5、其它:材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。

技術(shù)特點(diǎn):

1、DUV準(zhǔn)分子激光器,短脈寬,高峰值功率;

2、靜態(tài)氣體壽命 >30天;

3、激光器壽命 >20億次脈沖;

4、多種光路方案,可定制;

5、反射/透射照明;

6、X,Y位移臺(tái)安裝在剛性花崗巖基座上,線性驅(qū)動(dòng),1μm分辨率 ;

7、電動(dòng)焦點(diǎn)控制(沿Z軸);

8、配有同軸和離軸相機(jī),模式識(shí)別軟件可選 ;

9、快速響應(yīng)時(shí)間,易于操作的軟件;

10、同軸機(jī)器視覺(jué)示意圖,所見(jiàn)即所得。


光束傳播特點(diǎn):

1、能量控制 10-80% ;

2、投影縮倍4x-20x ,可定制;

3、工作距離>25mm;

4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ;

5、同軸顯微成像;

6、光斑勻化系統(tǒng)。


光路勻化介紹:微透鏡陣列勻光成像示意圖 
晶圓清洗監(jiān)控界面-所見(jiàn)即所得加工代碼、路線、導(dǎo)航界面

準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)示意圖  




Mlase準(zhǔn)分子激光器:采用德國(guó)Mlase準(zhǔn)分子激光器作為光源,能量輸出穩(wěn)定,光束質(zhì)量好,有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護(hù)設(shè)計(jì),使用簡(jiǎn)便、安全、穩(wěn)定、高效。



軟件功能:

圖形化加工路徑顯示

晶圓自動(dòng)聚焦、自動(dòng)對(duì)位

大視野晶圓導(dǎo)航圖

激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試

加工進(jìn)程控制、中斷自動(dòng)恢復(fù)

芯片參數(shù)導(dǎo)入

壞點(diǎn)剔除功能


參數(shù):


波長(zhǎng)

193nm /248nm

脈沖寬度

5-10 ns

單光斑加工面積

>400um x400um

光學(xué)分辨率

1um

最高能量密度

>10J/cm2

脈沖穩(wěn)定性

≤2%

脈沖重復(fù)頻率

1-1000Hz

系統(tǒng)框架

大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu)

機(jī)器視覺(jué)

同軸照明/觀察,所見(jiàn)即所得

投影物鏡

紫外超長(zhǎng)工作距離物鏡

掩膜版位移臺(tái)

100mm x100mm,定位精度:±1um

Z軸電動(dòng)平臺(tái)

50mm行程,±1μm重復(fù)定位精度

衰減器

電動(dòng)可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80%

控制軟件LPCPro3D自動(dòng)加工處理軟件