激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。

激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。

激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量 元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③ 可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內(nèi)儀器的良心價。

 
三.中圖儀器激光干涉儀技術參數(shù)

      系統(tǒng)性能

² 測量方式：單頻

² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm

² 動態(tài)采集頻率：50 kHz

² 預熱時間：5-10分鐘

² 工作溫度范圍：0~40℃

² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃

² 存儲溫度范圍：-20℃~70℃

      環(huán)境補償示值誤差

² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

² 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

      線性測量

² 測量距離：0-40m

² 測量精度：0.5ppm (0-40℃)

² 測量分辨率：1nm

² 測量最大速度：4m/sec