激光干涉儀可對(duì)機(jī)床、三測(cè)機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量各項(xiàng)參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機(jī)床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
二.SJ6000激光干涉儀測(cè)量方法（垂直度測(cè)量）
垂直度的測(cè)量是直線度測(cè)量在二維方向上的延伸，進(jìn)行垂直度測(cè)量就是在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。
共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺用于至少一次測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線度反射鏡。
垂直度測(cè)量應(yīng)用
機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等）
垂直度測(cè)量通過(guò)比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度。垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損、事故造成導(dǎo)軌損壞或機(jī)器地基差或龍門雙驅(qū)動(dòng)機(jī)器上的兩原點(diǎn)傳感器未準(zhǔn)直造成的。垂直度誤差將對(duì)機(jī)器的定位精度及插補(bǔ)能力產(chǎn)生直接影響。
典型情況下對(duì)于超過(guò)1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是唯一的選擇，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)。
X,Y軸垂直度對(duì)準(zhǔn)
X,Y工作臺(tái)和水平面垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組的設(shè)定如圖所示。不管是什么類型的XY平臺(tái)，包括龍門型或者混合型或者其他類型的XY平臺(tái)，無(wú)論是大型或者小型平臺(tái)，重要的是有一個(gè)共同的參考基準(zhǔn)，就如圖中所示的直線度反射鏡。測(cè)量過(guò)程中直線度反射鏡保持不動(dòng)。
