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QFHDS系列三軸超精密運(yùn)動臺

品牌:
瑞邦精控
價(jià)格:
0.00
起訂:
0
供貨總量:
0
發(fā)貨期限:
自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
地址:
北京順義馬坡
有效期限:
長期有效
最后更新:
2024-04-19
公司基本資料信息
商品詳情

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

?  氣浮導(dǎo)軌,超高性能精度                                      ?  重復(fù)定位精度±15nm(Sic版)

?  平面式氣浮結(jié)構(gòu),減小系統(tǒng)誤差影響                  ?  直線度優(yōu)于1μm

?  龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu),承載能力強(qiáng)                              ?  Z軸納米級定位抖動

?  高速,快速的整定時間                                          ?  可選激光尺位置反饋

?  可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌                                      ?  優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)

 


應(yīng)用領(lǐng)域

QFHDS系列三軸超精密運(yùn)動臺,XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu),Z軸交叉滾柱結(jié)構(gòu),用于半導(dǎo)體加工、檢測、微納加工等行業(yè)。

 

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

XY軸運(yùn)動結(jié)構(gòu)共面,兩軸的反饋機(jī)構(gòu)在同一個水平面,相當(dāng)于單軸運(yùn)動,不存在因疊層引起的阿貝誤差,此結(jié)構(gòu)提升動態(tài)跟蹤誤差,高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性,開發(fā)的氣浮軸承補(bǔ)償方法,提高剛性和負(fù)載能力,以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求,可實(shí)現(xiàn)快速運(yùn)動和極速位置整定。Z軸交叉滾柱導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),安裝到龍門橫梁上,亞微米級精度,定位抖動優(yōu)于20nm。更高要求可接受定制,瑞邦精控提供系統(tǒng)解決方案,對環(huán)境要求提供專業(yè)建議。

 

直驅(qū)設(shè)計(jì)

采用無鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動,實(shí)現(xiàn)了超平穩(wěn)的運(yùn)動。步進(jìn)軸和掃描軸安裝位置接近于負(fù)載水平面,以提高直線度、平面度和傾角誤差等。

 

其他

使用高質(zhì)量的電纜,帶屏蔽功能,防止電子信號的干擾,優(yōu)化管線的彎曲半徑,防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能。根據(jù)應(yīng)用,可安裝旋轉(zhuǎn)臺,傾角臺或晶圓裝卸用的夾具等。可安裝激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋,提升系統(tǒng)精度性能。



規(guī)格指標(biāo)

型號

單位

QFHDS-300-300-50

QFHDS-400-400-100QFHDS-500-500-200

軸系

X

Y

Z

X

Y

Z

X

Y

Z

行程

mm

300

300

50

400

400

100

500

500

200

補(bǔ)償后定位精度 

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.1

±0.25

±0.1

±0.25

±0.15



標(biāo)準(zhǔn)值

±0.2

±0.3

±0.5

±0.3

±0.5

±0.3





雙向重復(fù)定位精度

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.025

±0.075

±0.05

±0.075

±0.05



標(biāo)準(zhǔn)值

±0.1

±0.05

±0.15

±0.1

±0.15

±0.15





直線度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.2

±0.25

±0.5

±0.35

±0.5

±0.75



標(biāo)準(zhǔn)值

±0.5

±1

±1

±1

±1

±1.5





平面度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.2

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75



標(biāo)準(zhǔn)值

±0.5

±1

±1

±1

±1

±1.5





Pitch Roll Yaw (2)

Plus (1) 

arc sec

±0.5

±1

±1

±2

±1

±3



標(biāo)準(zhǔn)值

±1

±5

±1.5

±5

±1.5

±7





正交性

Plus (1) 

arc sec

2

5

2

5

2

5



標(biāo)準(zhǔn)值

5

10

5

10

5

10





電子分辨率 (3)

nm

0.3 或 5(選配)









最大速度 (空載) (4)

m/s

1

0.1

1

0.2

1

0.2




最大加速度 (空載) (4)

m/s2

5,(10, 20, 30 定制)

5

5,(10, 20, 30 定制)

5

5,(10, 20, 30 定制)

5




最大負(fù)載

kg

20

15

20

15

20

15




注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±0.5℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-F,測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試,請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo),是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標(biāo),最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。