產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu) ? 行程50~200mm可選
l ? 重復(fù)定位精度±75nm ? 全行程直線(xiàn)度0.1μm
l ? 優(yōu)化線(xiàn)纜管理 ? 可定制化設(shè)計(jì)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFUZ系列是一款側(cè)掛在大理石橫梁上的精密氣浮Z軸,閉式氣浮結(jié)構(gòu),剛度大,用于飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
精密氣浮Z軸閉式氣浮結(jié)構(gòu),氣浮導(dǎo)軌四面均勻受力,對(duì)于一些大體積、大負(fù)載在氣浮導(dǎo)軌上不均勻分布的應(yīng)用,更能突出性能優(yōu)勢(shì),行程50~275mm可選。配置無(wú)摩擦重力平衡氣缸,有效地抵消電機(jī)向上持續(xù)輸出力,提升精度性能,同時(shí)斷使能后負(fù)載不會(huì)受重力影響而向下脫落。
精密性能
氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦地平滑移動(dòng),與摩擦式導(dǎo)軌相比,氣浮的非接觸式結(jié)構(gòu),使直線(xiàn)度、平面度、Pitch Yaw、跟隨誤差、定位精度和重復(fù)定位精度得到提高 。
線(xiàn)纜管理
使用高質(zhì)量帶屏蔽的線(xiàn)纜,管線(xiàn)彎曲半徑更小,能夠防止電子信號(hào)的干擾,防止動(dòng)作過(guò)程中線(xiàn)纜的拉伸影響到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能,以確保無(wú)故障操作。
定制化
可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌,重復(fù)定位精度±15nm;定制最大加速度5m/s2;行程也可接受定制。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFUZ-50 | QFUZ-100 | QFUZ-150 | QFUZ-200 | |
行程 | mm | 50 | 100 | 150 | 200 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直線(xiàn)度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ±0.4 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5(選配) | ||||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 50 | 100 | 300 | 300 | |
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,(5 定制) | ||||
最大負(fù)載 | kg | 20 | ||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注:
以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±0.5℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-F,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測(cè)試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試,請(qǐng)咨詢(xún)我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo),是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下的指標(biāo),最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的(過(guò)濾至0.25μm或更佳,ISO8573-1),無(wú)水(壓力露點(diǎn)-20℃,ISO8573-1級(jí)別3)及無(wú)油(ISO8573-1級(jí)別1)。