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QFUZ系列精密氣浮Z軸

品牌:
瑞邦精控
價(jià)格:
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0
發(fā)貨期限:
自買(mǎi)家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
地址:
北京順義馬坡
有效期限:
長(zhǎng)期有效
最后更新:
2024-04-22
公司基本資料信息
商品詳情

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

?  非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu)                                              ?  行程50~200mm可選

?  重復(fù)定位精度±75nm                                         ? 全行程直線(xiàn)度0.1μm

?  優(yōu)化線(xiàn)纜管理                                                          ?  可定制化設(shè)計(jì)

 


應(yīng)用領(lǐng)域

QFUZ系列是一款側(cè)掛在大理石橫梁上的精密氣浮Z軸,閉式氣浮結(jié)構(gòu),剛度大,用于飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。

 

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

精密氣浮Z軸閉式氣浮結(jié)構(gòu),氣浮導(dǎo)軌四面均勻受力,對(duì)于一些大體積、大負(fù)載在氣浮導(dǎo)軌上不均勻分布的應(yīng)用,更能突出性能優(yōu)勢(shì),行程50~275mm可選。配置無(wú)摩擦重力平衡氣缸,有效地抵消電機(jī)向上持續(xù)輸出力,提升精度性能,同時(shí)斷使能后負(fù)載不會(huì)受重力影響而向下脫落。

 

 

精密性能

氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦地平滑移動(dòng),與摩擦式導(dǎo)軌相比,氣浮的非接觸式結(jié)構(gòu),使直線(xiàn)度、平面度、Pitch Yaw、跟隨誤差、定位精度和重復(fù)定位精度得到提高 。

 

線(xiàn)纜管理

使用高質(zhì)量帶屏蔽的線(xiàn)纜,管線(xiàn)彎曲半徑更小,能夠防止電子信號(hào)的干擾,防止動(dòng)作過(guò)程中線(xiàn)纜的拉伸影響到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能,以確保無(wú)故障操作。

 

定制化

可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌,重復(fù)定位精度±15nm;定制最大加速度5m/s2;行程也可接受定制。



規(guī)格指標(biāo)

型號(hào)

單位

QFUZ-50

QFUZ-100

QFUZ-150

QFUZ-200


行程

mm

50

100

150

200


補(bǔ)償后定位精度

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2



雙向重復(fù)定位精度 

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1



直線(xiàn)度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4



平面度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.1

±0.2

±0.2

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4



Pitch Roll Yaw (2)

Plus (1) 

arc sec

±0.25

±0.25

±0.4

±0.4

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.5

±0.5

±1

±1



電子分辨率 (3) 

nm

0.3 或 5(選配)





最大速度 (空載) (4)

mm/s

50

100

300

300


最大加速度 (空載) (4)

m/s2

1,(5 定制)





最大負(fù)載

kg

20





供氣壓力 (5)

MPa

0.5±0.05





注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±0.5℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-F,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測(cè)試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試,請(qǐng)咨詢(xún)我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo),是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。

2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下的指標(biāo),最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。

5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的(過(guò)濾至0.25μm或更佳,ISO8573-1),無(wú)水(壓力露點(diǎn)-20℃,ISO8573-1級(jí)別3)及無(wú)油(ISO8573-1級(jí)別1)。