產品特點

l ?  非接觸閉式氣浮結構                                              ?  光柵尺閉環(huán)反饋

l ?  亞微米級重復定位精度                                          ?  直線度平面度優(yōu)于1μm

?  優(yōu)化線纜管理                                                          ?  可定制化設計

應用領域

QFU-A系列是一款閉式氣浮導軌的雙軸氣浮運動臺，十字疊層結構用于超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導體及光子學等行業(yè)。

結構特點

雙軸氣浮運動臺采用氧化鋁氣浮導軌、直線電機和光柵尺組成，十字疊層結構，底軸為三氣浮導軌結構，上軸的運動行程尺寸在底軸寬度范圍內，防止上軸出現(xiàn)懸空下塌，改善疊層后上軸的精度性能。氣浮運動臺為非接觸式，隨著時間地推移，不會出現(xiàn)磨損或性能下降。陶瓷材料彈性模量大、比剛度大，可有效提高系統(tǒng)剛性和帶寬，增加控制系統(tǒng)的相位裕度和幅值裕度。

精度性能

雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.2μm，重復定位精度±0.1μm，直線度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。

線纜管理

精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動臺的性能，使用高質量的線纜，以確保無故障操作。

定制化

可定制陶瓷材質氣浮導軌，重復定位精度±15nm。行程可接受定制。

規(guī)格指標

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。

5. 為保護氣浮導軌不受壓力影響，建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。