產品特點 

l ?  直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)

l ?  旋轉軸行程±90°*360°（AB軸）

l ?  XYZ交叉滾柱導軌，納米級定位紋波

l ?  AB軸氣浮轉臺，亞微米跳動誤差

l ?  優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)

l ?  結構、行程可定制

應用領域

RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動臺用于曲面飛秒激光加工。

產品簡介

XY軸采用防蠕動十字交叉滾柱導軌導向，直線電機驅動及光柵尺閉環(huán)反饋，XY軸平面式結構，最大限度降低高度，減小系統(tǒng)誤差影響；此外XY軸可定制抱閘功能，抱閘位置漂移可控制在10nm內。

Z軸直驅力矩電機驅動，交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋，獲得納米級定位紋波；

AB軸氣浮軸承、力矩電機驅動及光柵尺閉環(huán)反饋，閉式氣浮結構，對結構進行優(yōu)化設計，氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預壓高剛度，側向放置承載能力大，解決氣浮抱死的問題。優(yōu)秀的軸向跳動誤差、徑向跳動誤差和傾角誤差，使AB軸正交2~10arc sec，軸向線重合度2~10μm。

大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應用于運動臺上質量可靠，品質有保障。大理石做模態(tài)分析，優(yōu)化結構尺寸，可依據客戶的要求做最終設計。

規(guī)格指標