產(chǎn)品特點(diǎn) 

l ?  直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)

l ?  旋轉(zhuǎn)軸行程±90°*360°（AB軸）

l ?  XYZ交叉滾柱導(dǎo)軌，納米級(jí)定位紋波

l ?  AB軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，亞微米跳動(dòng)誤差

l ?  優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)

l ?  結(jié)構(gòu)、行程可定制

應(yīng)用領(lǐng)域

RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于曲面飛秒激光加工。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

XY軸采用防蠕動(dòng)十字交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)及光柵尺閉環(huán)反饋，XY軸平面式結(jié)構(gòu)，最大限度降低高度，減小系統(tǒng)誤差影響；此外XY軸可定制抱閘功能，抱閘位置漂移可控制在10nm內(nèi)。

Z軸直驅(qū)力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋，獲得納米級(jí)定位紋波；

AB軸氣浮軸承、力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)及光柵尺閉環(huán)反饋，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預(yù)壓高剛度，側(cè)向放置承載能力大，解決氣浮抱死的問(wèn)題。優(yōu)秀的軸向跳動(dòng)誤差、徑向跳動(dòng)誤差和傾角誤差，使AB軸正交2~10arc sec，軸向線重合度2~10μm。

大理石機(jī)體因強(qiáng)度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上質(zhì)量可靠，品質(zhì)有保障。大理石做模態(tài)分析，優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸，可依據(jù)客戶的要求做最終設(shè)計(jì)。

規(guī)格指標(biāo)