激光微納制造是微納制造技術的重要部分。激光微納制造是通過激光與材料相互作用,改變材料的物態(tài)和性質,實現(xiàn)微米至納米尺度或跨尺度的控形與控性。由于激光微納制造在能量密度、作用的空間和時間尺度、制造體吸收能量的可控尺度都可分別趨于極端,而使制造過程所利用的物理效應、作用機理完全不同于傳統(tǒng)制造,其制造復雜結構的能力與品質遠高于傳統(tǒng)制造,由此產(chǎn)生了一批新技術(如光刻、近場納米制造、干涉誘導加工、微焊接等)、一批新產(chǎn)品(如大規(guī)模集成電路、MEMS/NEMS等)、一批產(chǎn)品的高性能化(如航空發(fā)動機、燃氣輪機、太陽能電池等)和相應的高新技術產(chǎn)業(yè)群。
激光微納制造涉及光學、物理、材料、化學、生物、信息、控制、機械、納米科技等學科,必將推動制造及相關學科的深入發(fā)展。并為能源、航空、IC制造、國防、汽車、生物、醫(yī)療等領域實現(xiàn)跨越式發(fā)展提供重要的制造支撐。
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