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深度解讀

激光照射形成銅布線 線寬10~200μm

星之球激光 來(lái)源:日經(jīng)技術(shù)在線2016-04-06 我要評(píng)論(0 )   

  日本芝浦工業(yè)大學(xué)2016年3月31日宣布,開(kāi)發(fā)出了只需照射激光即可輕松形成銅布線的技術(shù)。該技術(shù)無(wú)需在特殊環(huán)境下使用特殊設(shè)備來(lái)形成銅布線,因此有望成為能夠低成本輕...

  日本芝浦工業(yè)大學(xué)2016年3月31日宣布,開(kāi)發(fā)出了只需照射激光即可輕松形成銅布線的技術(shù)。該技術(shù)無(wú)需在特殊環(huán)境下使用特殊設(shè)備來(lái)形成銅布線,因此有望成為能夠低成本輕松生產(chǎn)顯示屏及智能手機(jī)等。
  電子產(chǎn)品的布線材料以前廣泛使用性能高但價(jià)格貴的金和銀,而近年來(lái)業(yè)內(nèi)開(kāi)始積極運(yùn)用性能較高、成本較低的銅。但銅容易氧化,在通常環(huán)境(大氣)下難以操作,需要使用大型真空設(shè)備及復(fù)雜的制造工藝。
  此次通過(guò)在玻璃基板上涂布擁有熱分解性的銅絡(luò)合物溶液,并照射激光,成功促進(jìn)了銅絡(luò)合物的化學(xué)反應(yīng),使銅固定下來(lái)。即使在通常的大氣環(huán)境下也可形成銅布線,而且除銅外只會(huì)釋放氣體(CO2等),無(wú)需后處理。目前確認(rèn)可形成數(shù)10μ~200μm寬的布線。
  芝浦工業(yè)大學(xué)同時(shí)還在研究以塑料等有機(jī)無(wú)機(jī)混合樹(shù)脂為基板、又輕又薄、可卷起可彎折的柔性顯示器,目標(biāo)是將使用此次技術(shù)的柔性顯示器投入實(shí)用。今后該大學(xué)將與企業(yè)等合作,對(duì)更微細(xì)的布線形成以及工藝的精密化展開(kāi)研究。

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芝浦工業(yè)大學(xué)激光銅布線顯示屏
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