進入21世紀以來，固體激光器輸出功率由10 kW到100 kW不斷獲得突破，這時高效散熱和主動光束質(zhì)量控制已成為固體激光器提高性能、繼續(xù)發(fā)展的主要攻關方向。相應的改進和創(chuàng)新主要是在增益介質(zhì)結構的變化和冷卻方式的改變上。諸如熱容激光器、具有大表面積體積比的光纖激光器、薄片激光器及板條激光器等多種激光器得到了深入研究。
目前熱容固體激光技術的發(fā)展陷入停滯，光纖激光技術吸引的研發(fā)力量最多；端面抽運傳導冷卻板條激光技術、ThinZag浸入式板條激光技術、液冷薄片激光技術均實現(xiàn)了100 kW以上激光輸出，進一步地發(fā)展需要克服各自的短板；傳導冷卻薄片以及平面波導激光技術均展示了高效高功率輸出的發(fā)展?jié)摿Γ型谌〉猛黄?。下面介紹下幾種固體激光技術各自的優(yōu)缺點。
熱容激光器技術
Lawrence Livermore國家實驗室在2001年，成功演示了閃光燈抽運的10 kW級熱容激光器，實際輸出平均功率13 kW，光束質(zhì)量優(yōu)于5倍衍射極限。次年采用單片Nd:GGG增益介質(zhì)，四片二極管激光面陣抽運，獲得2.7 kW輸出。2006年，進而采用五片陶瓷Nd:YAG增益介質(zhì)，輸出達到了67 kW。但是由于未能有效解決輸出光束質(zhì)量的問題，并且輸出激光的時間過短，在與板條激光技術方案的競爭中處于下風。
因為抽運不均勻熱容激光器的光束質(zhì)量隨著出光時間迅速退化，難以符合實用要求。因此，熱容激光器雖然具有定標放大至100 kW的能力，但其應用前景并不樂觀。
光纖激光器技術
光纖激光器優(yōu)點在于優(yōu)良的光束質(zhì)量和方便的熱管理，缺點在于單纖的輸出功率有限，要達到100 kW級的功率水平需要復雜的光束合成方案。
光束合成有相干合成、譜合成以及功率合成等方式。相干合成和譜合成能夠較好地保持光束質(zhì)量，但是對激光的線寬有著苛刻的要求，這進一步限制了單纖的輸出水平。
隨著窄線寬光纖激光技術的進步，光纖激光的合成功率得到了大幅提升。2017年3月初，洛克希德· 馬丁公司采用光譜合成技術方案實現(xiàn)58 kW激光輸出，光束質(zhì)量接近衍射極限，這是迄今為止最好光束質(zhì)量的最高功率的光纖激光合成輸出。
盡管取得了里程碑性的進展，但是合成光束的功率進一步提升空間有限。
板條激光器技術
板條激光器利用其介質(zhì)幾何對稱性和之字形光路，可以部分抵消熱致光程差和雙折射效應的影響，是實現(xiàn)高平均功率高光束質(zhì)量激光輸出的有效方式。
1. 二極管端面抽運傳導冷卻
板條激光器(CCEPS)
板條激光器(CCEPS)
諾格（Northrop Grumman）公司在2009年實現(xiàn)了7路CCEPS相干合成輸出105.5 kW，光束質(zhì)量優(yōu)于3倍衍射極限，電光轉換效率達19.3%。
諾格方案單路輸出功率有限，相干合成后光束質(zhì)量的退化效應比較明顯，這主要是因為暫時無法找到有足夠占空比的光束拼接方案。另外，隨著鏈路數(shù)目的增加，將會對實時相位控制技術提出很大挑戰(zhàn)。
針對合成后光束質(zhì)量退化問題，通過偏振合束和利用衍射光學元件合束的方式可以加以改善，隨著波前控制技術進步，可合成的路數(shù)也將逐步增加。
2. ThinZag浸入式板條激光器
Textron公司采用冷卻液直接冷卻陶瓷ThinZag板條激光器，開發(fā)出了1 kW、5 kW和15 kW的高功率連續(xù)激光器產(chǎn)品。
2010年，Textron公司串聯(lián)6個增益放大模塊，構成緊湊的單口徑輸出振蕩器，實現(xiàn)了100 kW的激光輸出。
放大器模塊之間插入變形鏡校正波前畸變，但當激光器工作在高功率時，變形鏡由于損傷閾值限制發(fā)生損壞，造成光束質(zhì)量急劇下降，僅能工作數(shù)秒。
薄片激光器技術
1. 傳導冷卻薄片激光器
薄片內(nèi)熱量沿著軸向傳輸，所以理論上不存在熱透鏡效應，可以得到高光束質(zhì)量的激光輸出。
2008年6月，Boeing公司宣稱其薄片激光器輸出功率達25 kW，光束質(zhì)量優(yōu)良；德國物理技術研究所采用端面抽運薄片激光器在2008年實現(xiàn)多模16 kW，光束質(zhì)量M2≈24，在4 kW時光束質(zhì)量可以達到M2=1.4。
面抽運方式下，薄片激光器的增益介質(zhì)較薄，使得抽運光單程吸收能力很差，必須設計復雜的抽運系統(tǒng)保證抽運能量的充分吸收，消弱了激光器系統(tǒng)的穩(wěn)定性；而且實際輸出的光束質(zhì)量并不理想，邊緣效應、熱應力以及抽運和散熱的不均勻都使得光束質(zhì)量嚴重退化；另外，單片薄片能力有限，高功率輸出需要多塊薄片級聯(lián)放大，需要復雜的抽運光學系統(tǒng)，系統(tǒng)規(guī)模較大。
2. 液體冷卻薄片激光器
General Atomics公司研發(fā)的液體冷卻薄片激光器，采用的技術方案從未公開報道過，經(jīng)分析認為可能采用了分布式增益的薄片YLF激光器專利技術。2010年，通用原子公司實現(xiàn)了單模塊60 kW功率輸出，2015年實現(xiàn)兩模塊150 kW激光輸出。
這種激光器通過將熱量分散在多個片狀單元中，利用流體的強散熱能力將熱量快速導出，使得增益介質(zhì)中的溫升極低，且只在光軸方向具有溫度梯度，大大降低了增益介質(zhì)本身帶來的熱畸變。
這種方案展示出了良好的定標放大能力，但是冷卻液會對激光性能產(chǎn)生嚴重的影響。因此，這種激光器的光束質(zhì)量不容樂觀。
平面波導激光器技術
平面波導激光技術兼顧了光纖和薄片激光技術的優(yōu)勢，增益區(qū)截面積可以擴展，光束質(zhì)量可控。缺點在于增益介質(zhì)制備困難，光束的級間耦合要求精度高。
Raytheon公司在2006年用單個平面波導實現(xiàn)了16 kW的多模激光輸出，展示了平面波導的巨大技術潛力。在2013年實現(xiàn)了單個平面波導14.5 kW的激光輸出（導波方向近單模），并在5.4 kW水平驗證了對非導波方向進行自適應校正的可行性，校正后光束質(zhì)量達到1.7倍衍射極限。
新型表層增益板條激光器技術
提高單模塊輸出功率最直接的思路是提高增益介質(zhì)的散熱能力，即提高表面積體積比。非均勻摻雜的三明治結構板條應運而生。板條的兩個大面處有一定厚度的摻雜區(qū)，適應大面?zhèn)鲗Ю鋮s，稱之為表層增益。
區(qū)別于現(xiàn)有的端頭鍵合、體增益板條，新型表層增益板條激光器技術可滿足更高功率激光系統(tǒng)對低熱畸變，高增益、高功率輸出增益介質(zhì)的需求。
板條內(nèi)抽運光和主激光沿“之”字傳播。表層增益板條與傳統(tǒng)板條相比，在相同抽運功率下溫升較小，而且在厚度方向對熱有很好的勻化作用，具備優(yōu)異的散熱能力。
當信號光功率密度大于10 kW/cm2，保證放大器模塊抽運功率密度大于10 kW/cm3，單模塊的提取效率保持在40%以上。抽運功率為25 kW時，激光輸出功率可達到12.2 kW，對應的光-光效率為49%，具備獲得高效率高功率輸出的能力。在連續(xù)諧振腔輸出實驗中，采用表層增益板條已獲得了3 kW的激光輸出具有非常好的線性度。
上述激光器設計極大改善了激光器的性能，使激光器單口徑輸出功率水平繼續(xù)取得新的突破。
高功率固體激光技術的突破，關鍵在于如何消除或補償固體增益介質(zhì)中熱積累帶來的熱畸變，即在高功率運行條件下保持光束質(zhì)量，進行定標放大。通過冷卻方式和增益介質(zhì)構型的進一步優(yōu)化，相位共軛、自適應光束凈化、新型諧振腔以及各種補償措施的出現(xiàn)，高功率固體激光器輸出激光性能還將有新的突破。
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