2019年12月6日，科技部科技評估中心在北京組織召開國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項“高端全息光柵研發(fā)”項目綜合驗收會，項目順利通過驗收。
驗收會上，專家組聽取了項目負(fù)責(zé)人、長春光機所齊向東研究員作的項目研制工作總結(jié)報告，觀看了項目視頻，開展了各參研單位研制設(shè)備遠(yuǎn)程視頻連線和開發(fā)的高端光柵器件和光譜儀器的現(xiàn)場檢查，并進行了質(zhì)詢討論。會議專家一致同意該項目通過綜合驗收。
圖1 綜合驗收會與會代表合影
圖片來源：長春光機所
光柵是一種具有納米精密周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件，光柵除在各類光譜儀器中擔(dān)當(dāng)“芯片”角色外，還在天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲、新能源等諸多領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。高端全息光柵是指具有高光譜分辨率、高衍射效率、高刻線密度、低雜散光強度或特殊面形以及體全息光柵等一些特種光柵類型的全息光柵，代表了光柵制造技術(shù)的前沿水平。
在“高端全息光柵研發(fā)”項目立項之初，國外科研機構(gòu)和公司基本壟斷高端全息光柵市場。隨著我國光譜儀器行業(yè)打造高端光譜儀器產(chǎn)品、拓展國際市場需求的日益強烈，長春光機所依托該專項支持，開展了以高刻線密度光柵、大口徑高衍射效率光柵為代表的高端全息全息光柵的研發(fā)工作，旨在全面提升我國全息－離子束刻蝕光柵的研制水平，開發(fā)出具有重要戰(zhàn)略意義及代表性且需求迫切的高端全息光柵，替代進口的同時滿足我國光譜分析儀器自主創(chuàng)新對新型全息光柵的需求；實現(xiàn)以關(guān)鍵部件開發(fā)為先導(dǎo)、輻射帶動光譜分析儀器行業(yè)技術(shù)進步，實現(xiàn)以高端全息光柵自主創(chuàng)新帶動光譜分析儀器自主創(chuàng)新的目標(biāo)，完善光譜分析儀器產(chǎn)業(yè)鏈，增強儀器產(chǎn)業(yè)核心競爭力。
項目組在研發(fā)周期內(nèi)建立并完善了高端全息光柵制造及檢測裝備，全面提高了高端全息光柵的工藝技術(shù)，研制出國際先進的11種高端全息光柵，同時，聯(lián)合國內(nèi)優(yōu)勢企業(yè)應(yīng)用新光柵開發(fā)出6種新型光譜儀器。
一是研制出大口徑勻膠機、大口徑曝光系統(tǒng)、曲面光柵離子束刻蝕機、大口徑反應(yīng)離子刻蝕機、衍射波前測試儀、衍射光柵雜散光測試儀，形成了集光柵設(shè)計、制造及檢驗于一體的開發(fā)平臺。
圖片來源：長春光機所
二是研制出11種高端全息光柵母版，解決了高端全息光柵制造工藝技術(shù)及裝備的共性基礎(chǔ)問題，全面提升了我國光柵制造能力。
圖片來源：長春光機所
三是在我國光譜分析儀器行業(yè)的六家領(lǐng)軍企業(yè)進行應(yīng)用示范及產(chǎn)業(yè)化推廣，自主研發(fā)出低雜散光紫外可見光譜儀、新型火花直讀光譜儀、高速單道掃描電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀、雙光束紫外–可見分光光度計、醫(yī)用成像光譜儀、極紫外–軟X射線雙光柵單色器等六種高端光盤分析儀器。
圖片來源：長春光機所
通過該項目持續(xù)支持，長春光機所研制出的高精度、高指標(biāo)、大尺寸的高端全息光柵，不僅代表了中國的超微細(xì)加工技術(shù)達到了世界水平，更打破了中國民用光譜儀器行業(yè)及國家戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度光柵受制于人的局面，在促進中國光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無心”的局面，幫助中國光譜儀器產(chǎn)業(yè)改變低端化現(xiàn)狀，提升拓展國際市場能力方面將發(fā)揮重要支撐作用。
驗收會上，專家組聽取了項目負(fù)責(zé)人、長春光機所齊向東研究員作的項目研制工作總結(jié)報告，觀看了項目視頻，開展了各參研單位研制設(shè)備遠(yuǎn)程視頻連線和開發(fā)的高端光柵器件和光譜儀器的現(xiàn)場檢查，并進行了質(zhì)詢討論。會議專家一致同意該項目通過綜合驗收。
圖1 綜合驗收會與會代表合影
圖片來源：長春光機所
光柵是一種具有納米精密周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件，光柵除在各類光譜儀器中擔(dān)當(dāng)“芯片”角色外，還在天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲、新能源等諸多領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。高端全息光柵是指具有高光譜分辨率、高衍射效率、高刻線密度、低雜散光強度或特殊面形以及體全息光柵等一些特種光柵類型的全息光柵，代表了光柵制造技術(shù)的前沿水平。
在“高端全息光柵研發(fā)”項目立項之初，國外科研機構(gòu)和公司基本壟斷高端全息光柵市場。隨著我國光譜儀器行業(yè)打造高端光譜儀器產(chǎn)品、拓展國際市場需求的日益強烈，長春光機所依托該專項支持，開展了以高刻線密度光柵、大口徑高衍射效率光柵為代表的高端全息全息光柵的研發(fā)工作，旨在全面提升我國全息－離子束刻蝕光柵的研制水平，開發(fā)出具有重要戰(zhàn)略意義及代表性且需求迫切的高端全息光柵，替代進口的同時滿足我國光譜分析儀器自主創(chuàng)新對新型全息光柵的需求；實現(xiàn)以關(guān)鍵部件開發(fā)為先導(dǎo)、輻射帶動光譜分析儀器行業(yè)技術(shù)進步，實現(xiàn)以高端全息光柵自主創(chuàng)新帶動光譜分析儀器自主創(chuàng)新的目標(biāo)，完善光譜分析儀器產(chǎn)業(yè)鏈，增強儀器產(chǎn)業(yè)核心競爭力。
項目組在研發(fā)周期內(nèi)建立并完善了高端全息光柵制造及檢測裝備，全面提高了高端全息光柵的工藝技術(shù)，研制出國際先進的11種高端全息光柵，同時，聯(lián)合國內(nèi)優(yōu)勢企業(yè)應(yīng)用新光柵開發(fā)出6種新型光譜儀器。
一是研制出大口徑勻膠機、大口徑曝光系統(tǒng)、曲面光柵離子束刻蝕機、大口徑反應(yīng)離子刻蝕機、衍射波前測試儀、衍射光柵雜散光測試儀，形成了集光柵設(shè)計、制造及檢驗于一體的開發(fā)平臺。
圖片來源：長春光機所
二是研制出11種高端全息光柵母版，解決了高端全息光柵制造工藝技術(shù)及裝備的共性基礎(chǔ)問題，全面提升了我國光柵制造能力。
圖片來源：長春光機所
三是在我國光譜分析儀器行業(yè)的六家領(lǐng)軍企業(yè)進行應(yīng)用示范及產(chǎn)業(yè)化推廣，自主研發(fā)出低雜散光紫外可見光譜儀、新型火花直讀光譜儀、高速單道掃描電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀、雙光束紫外–可見分光光度計、醫(yī)用成像光譜儀、極紫外–軟X射線雙光柵單色器等六種高端光盤分析儀器。
圖片來源：長春光機所
通過該項目持續(xù)支持，長春光機所研制出的高精度、高指標(biāo)、大尺寸的高端全息光柵，不僅代表了中國的超微細(xì)加工技術(shù)達到了世界水平，更打破了中國民用光譜儀器行業(yè)及國家戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度光柵受制于人的局面，在促進中國光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無心”的局面，幫助中國光譜儀器產(chǎn)業(yè)改變低端化現(xiàn)狀，提升拓展國際市場能力方面將發(fā)揮重要支撐作用。
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