大功率超快激光技術實現(xiàn)新突破
近年來,激光光源技術及應用成為眾多產(chǎn)業(yè)中必不可少的智能制造裝備,其中極具代表性的高功率光纖激光器、納秒紫外激光器及超短脈沖激光精密加工應用在工業(yè)應用中全面爆發(fā)。高功率超快碟片激光器的高輸出功率、高轉換效率、高光束質(zhì)量和模塊化設計等優(yōu)勢,推動了高功率碟片激光器在工業(yè)上的重要應用,已經(jīng)廣泛應用于新能源汽車制造、芯片制造等高新技術企業(yè)。目前僅有德國斯圖加特大學和德國通快公司掌握著高功率碟片激光器研制的關鍵核心技術。
深圳技術大學科研團隊經(jīng)過多年的持續(xù)研究,開發(fā)了國內(nèi)領先的超高功率皮秒碟片激光器。項目團隊基于碟片激光技術平臺,攻克碟片高效散熱關鍵技術、多沖程泵浦關鍵技術和再生放大腔等一系列關鍵核心技術,在國內(nèi)首次實現(xiàn)了單脈沖能量>500μJ、脈沖寬度<7.5ps、重復頻率在50kHz-1000kHz范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)、平均功率>200W的激光輸出,尤其是光束質(zhì)量M2<1.1、光-光轉換效率>50%的優(yōu)良性能,可廣泛應用于玻璃、藍寶石和陶瓷的切割與鉆孔,以及光伏太陽能、半導體晶圓等精密微加工領域,具有廣闊的市場前景。
聚焦激光技術創(chuàng)新 服務國家重大需求 深圳技術大學從建校初期就將光電子技術、激光光源技術及應用作為重點學科方向,依托先進光學精密制造技術廣東普通高校重點實驗室、深圳市激光工程重點實驗室、中德智能制造學院、工程物理學院引進了一批具有較高理論及技術實力的研究人員,同時與德國阿倫應用技術大學、雷根斯堡應用技術大學、慕尼黑應用技術大學、亞琛激光研究所等開展緊密合作。針對先進激光光源技術及激光微納制造工藝,深圳技術大學與大族激光、泰德激光、聯(lián)贏激光、杰普特光電、海目星激光智能裝備等多家企業(yè)的開展校企合作和聯(lián)合技術攻關,實現(xiàn)學校的優(yōu)質(zhì)科研資源和企業(yè)的先進產(chǎn)業(yè)資源精準對接,為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供強大的支撐。 圖|200TW高對比度飛秒激光器 經(jīng)過多年來的研究積累,項目團隊依托學校的先進光學精密制造技術廣東普通高校重點實驗室,與激光行業(yè)多家企業(yè)開展緊密的校企合作,已經(jīng)構建了“全光纖”和“半導體泵浦固體行波級聯(lián)放大”兩大激光技術平臺,攻克了高效諧波頻率變換關鍵技術。采用具有自主知識產(chǎn)權的超短脈沖種子源及多級光纖-固體混合放大器方案,實現(xiàn)了中心波長為1064 nm、平均功率>300W、脈沖能量>500μJ、脈沖寬度<8ps、峰值功率>80MW的高功率皮秒激光及105W皮秒紫外(355nm)的工業(yè)應用激光輸出。該成果獲得2021年廣東省科技進步一等獎。具有皮秒或飛秒量級脈沖寬度的超快激光由于其窄脈寬、高峰值功率的特性,在基礎科學、工業(yè)生產(chǎn)、生物醫(yī)學以及國防軍事等領域具有重要的應用。實驗室聚焦國家重點戰(zhàn)略需求,力求攻克激光領域中的“卡脖子”技術難題,推進激光精密加工、新能源產(chǎn)業(yè)、芯片制造等戰(zhàn)略高技術領域的創(chuàng)新發(fā)展。 先進光學精密制造技術廣東普通高校重點實驗室 先進光學精密制造技術廣東普通高校重點實驗室為省級重點實驗室,依托深圳技術大學中德智能制造學院建設,專注于高功率超快激光、中紅外激光、激光頻率變換技術、穩(wěn)定超熒光光源、先進激光微納制造技術、特種材料激光焊接技術等領域關鍵技術研究與設備開發(fā)。 今后,項目團隊將繼續(xù)依托該實驗室開展相關研究,以“需求牽引、突破瓶頸”為目標,進一步提升超快激光器的輸出功率、突破紫外/深紫外激光器的技術瓶頸,為工業(yè)和科研應用服務。同時,結合深圳技術大學辦學特色,發(fā)揮項目優(yōu)勢,為行業(yè)培養(yǎng)更多先進激光技術及應用領域高端應用型人才。
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