全金屬封離型射頻激勵擴散冷卻板條波導(dǎo)CO2激光器，一般簡稱為CO2射頻板條激光器。

ZAMIA 的 Q系列射頻激光器就屬于板條波導(dǎo)CO2激光器，下面小特將以Q系列為例，為大家一一剖析，

——“ 射頻板條波導(dǎo)CO2激光器為何需要光束整形 ”

/ Q 系 列 射 頻 激 光 器 /

不同于全波導(dǎo)的CO2激光器，板條波導(dǎo)CO2激光器的放電區(qū)是由兩塊相對平行放置的間隔為毫米的長方形金屬板條構(gòu)成。

兩個全反射鏡安裝在兩金屬板條兩端，組成激光器諧振腔，用于提取激光。腔鏡帶有曲率，曲率半徑短的為前腔鏡，曲率半徑較長的為后腔鏡，前腔鏡短于后腔鏡，兩腔鏡一側(cè)對齊安裝，激光束從前腔鏡的另一側(cè)輸出。如下圖

在此空間內(nèi)發(fā)生放電，產(chǎn)生增益介質(zhì)。同時，在兩片諧振腔之間振蕩的激光往返多次通過此區(qū)域。

每次激光束通過此區(qū)域時，在高度方向和寬度方向上傳輸規(guī)律不同，在寬度方向上，由于寬度方向的尺寸遠大于激光光束的尺寸，所以，激光束在此方向上是不受約束的自由通過。

而在高度方向上，由于高度方向的尺寸和激光光束的尺寸相當(dāng)，所以，每次激光束在此方向上受約束通過。

激光束在腔內(nèi)多次振蕩，通過兩極板間的平片空間，在前鏡的一側(cè)輸出，造成最終輸出的激光光束在寬度和高度方向上的不對稱。激光束表現(xiàn)在兩個方向上的發(fā)散角和光斑大小不同，在寬度方向上的發(fā)散角小，高度方向上的發(fā)散角大，即兩個方向的光束質(zhì)量不同。

從上圖可以看出，激光光束隨著傳輸距離不同，光斑形狀發(fā)生變化，在遠場為一橢圓光斑。

這種激光光束直接聚焦，在焦點位置得到的也是一橢圓光斑。這將會導(dǎo)致加工時兩個方向的線條粗細不一致，切割效果不同，最終影響加工效果。

所以為了得到兩個方向的發(fā)散角相同，光斑大小相同的激光光束，需要對上述的不對稱激光光束進行整形，使其兩個方向的光束質(zhì)量因子相同，得到圓對稱的準基模高斯光束。讓激光打標(biāo)機，激光切割機，激光雕刻機等激光加工設(shè)備可以得到圓形的聚焦光斑。