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亞納秒激光器應(yīng)用于硬脆材料微加工

激光制造網(wǎng) 來源:杏林睿光2022-04-26 我要評(píng)論(0 )   

方案背景圖1 各類激光器在硬脆材料微加工應(yīng)用的特性比較非金屬硬脆材料包括各種寶石、玻璃、硅晶體、石英晶體、陶瓷、稀土磁材等,這些材料大多為非導(dǎo)電體或半導(dǎo)體,通...

方案背景

圖1 各類激光器在硬脆材料微加工應(yīng)用的特性比較

非金屬硬脆材料包括各種寶石、玻璃、硅晶體、石英晶體、陶瓷、稀土磁材等,這些材料大多為非導(dǎo)電體或半導(dǎo)體,通常具有高硬度、高脆性、高耐磨性、高抗蝕性、高抗氧化性、耐高溫等性能。由于非金屬硬脆材料具有許多金屬材料難以比擬的優(yōu)良特性,其應(yīng)用范圍已從傳統(tǒng)的建筑業(yè)、工藝品制造業(yè)逐步擴(kuò)展到航天、機(jī)械、汽車、電子、化工等領(lǐng)域。非金屬硬脆材料應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓寬和對(duì)其進(jìn)行加工時(shí)的低效率、高成本的矛盾正日益突出,導(dǎo)致目前傳統(tǒng)的加工方法并不能適應(yīng)諸多工業(yè)需求。激光的能量密度高達(dá)108~1010W/cm2,直接作用于非金屬硬脆材料局部表面,產(chǎn)生的瞬時(shí)能量產(chǎn)生高溫融化材料或直接破壞材料的分子鍵。與傳統(tǒng)加工方式相比,效率提升8~20倍,節(jié)省材料20%~30%,可以大大降低生產(chǎn)成本,提升加工精度和產(chǎn)品質(zhì)量,還具有能縮短生產(chǎn)周期、可進(jìn)行選擇性加工和精密加工等優(yōu)點(diǎn)。


傳統(tǒng)的硬脆材料加工所用的激光器為納秒激光器,脈寬普遍在5ns以上,體積龐大,對(duì)環(huán)境要求高,穩(wěn)定性差,且熱效應(yīng)較大,對(duì)于很多材料的加工效果并不理想。此外,皮秒、飛秒激光器在微加工性能雖然較好,但價(jià)格昂貴,體積龐大。


高功率、高重頻的亞納秒激光器是一類高性價(jià)比的準(zhǔn)超快激光器,兼具皮秒激光器的加工精度和普通納秒激光器的價(jià)格優(yōu)勢(shì),在精密微加工領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景,倍受工業(yè)客戶的青睞。


原理簡(jiǎn)介


圖2 微加工系統(tǒng)示意圖

硬脆材料微加工通常由激光器、CCD相機(jī),激光準(zhǔn)直聚焦及成像光學(xué)系統(tǒng)、振鏡控制系統(tǒng)或多維移動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、輸入/輸出控制模塊、計(jì)算機(jī)及控制軟件組成。利用激光高能量特性,通過光子與材料的相互作用實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的打標(biāo)、打孔、劃線、切割、內(nèi)雕等加工;因其具有高效率、高精度、非接觸式等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于微電子、微機(jī)械和微光學(xué)加工等領(lǐng)域。


應(yīng)用市場(chǎng)


硬脆材料按照材料應(yīng)用種類,可大致分為:半導(dǎo)體材料微加工、陶瓷材料微加工、鉆石及寶石打標(biāo)與劃線、透明材料微加工(鋼化玻璃,藍(lán)寶石玻璃等)、薄膜類材料消融、透明導(dǎo)電氧化物及電介質(zhì)消融等。按照加工類型和行業(yè)模型,可按如下項(xiàng)目分類:

產(chǎn)品和服務(wù)

杏林睿光針對(duì)硬脆材料的微加工應(yīng)用,提供一系列高峰值功率、高重復(fù)頻率和高可靠性的小型化脈沖激光器。同時(shí),我們可為用戶提供硬脆材料微加工所必須的控制系統(tǒng)、光路設(shè)計(jì)、電路設(shè)計(jì)及其它配套服務(wù)。



圖3 激光器及波形、光斑圖

方案優(yōu)勢(shì)

● 可提供多波長(zhǎng)、多類別激光器:產(chǎn)品涉及MC系列被動(dòng)調(diào)Q亞納秒微片激光器和AQ系列主動(dòng)調(diào)Q窄脈寬激光器,波長(zhǎng)1064nm、532nm、355nm、266nm,脈寬300ps~2ns可選。

● 激光器焊接封裝、緊湊可靠

● 適應(yīng)0-50℃的寬溫工作

● 可定制OEM激光驅(qū)動(dòng)電路

● 可提供控制系統(tǒng)、光路設(shè)計(jì)等配套服務(wù)


關(guān)于杏林睿光

北京杏林睿光科技有限公司成立十余年來一直專注于激光器與激光應(yīng)用系統(tǒng)的自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,同時(shí)肩負(fù)為光電產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)優(yōu)秀工程人才的使命,已經(jīng)為分析儀器、醫(yī)療美容、雷達(dá)測(cè)距、激光加工和科研教學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域的客戶提供了諸多具有創(chuàng)新性和競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品。杏林睿光期望成為您的戰(zhàn)略合作伙伴,助您的靈感受激發(fā)射!

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激光應(yīng)用激光切割焊接清洗
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