近日，航天三江激光院宣布激光隱形切割晶圓產(chǎn)品首開千萬大單。激光隱形切割是指將特定波長的激光通過光學(xué)系統(tǒng)聚焦在材料內(nèi)部，該光學(xué)系統(tǒng)具有極好的聚焦性能，能夠把光壓縮到衍射極限，具有較高的峰值功率密度，在材料中間形成改質(zhì)層（SD層），通過擴展膠膜等方法將工件分割，而不會破壞工件表面和邊緣。
激光隱形切割樣品展示 與刀片切割方式相比，激光隱形切割以其非接觸、干式方式，能夠解決刀片切割產(chǎn)生的問題。例如，由于工件內(nèi)部改質(zhì)，可以抑制加工碎屑的產(chǎn)生，減少工件污染；避免直接接觸及純水沖洗，適用于抗負荷能力差的工件（MEMS等）；可以減小切割道寬度，減小芯片間隔?；谄浼庸?yōu)勢，激光隱形切割技術(shù)被廣泛應(yīng)用于MEMS晶圓、RFID晶圓和Memory晶圓等領(lǐng)域。作為芯片制造中不可缺少的技術(shù)，隨著激光技術(shù)、控制技術(shù)、切割工藝的發(fā)展，激光隱形切割將能更好、更廣泛的應(yīng)用于芯片制造。
轉(zhuǎn)載請注明出處。
相關(guān)文章
熱門資訊
精彩導(dǎo)讀
關(guān)注我們
