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8月23日，精測(cè)電子首臺(tái)12寸晶圓外觀缺陷光學(xué)檢查機(jī)在精測(cè)電子蘇州產(chǎn)業(yè)園順利出機(jī)正式交付客戶，這是精測(cè)電子自主研發(fā)的晶圓外觀檢測(cè)設(shè)備首次成功交付客戶，標(biāo)志著精測(cè)電子在泛半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域取得又一重要技術(shù)突破。

精測(cè)電子自主研發(fā)的晶圓外觀檢測(cè)設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠、封測(cè)廠及 MicroLED、 MiniLED新型顯示晶圓前后道缺陷檢測(cè)，主要采用顯微光學(xué)方案針對(duì)晶圓的μm級(jí)外觀缺陷進(jìn)行檢測(cè)及量測(cè)。同時(shí)可擴(kuò)展到晶圓Bumping 3D量測(cè)及 LED 3D量測(cè)應(yīng)用。晶圓外觀檢查機(jī)設(shè)備軟算全自主開(kāi)發(fā)，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，結(jié)合精測(cè)在質(zhì)檢領(lǐng)域的多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn)積累，助推晶圓光學(xué)檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化應(yīng)用。

晶圓缺陷光學(xué)檢查機(jī)的順利交付是精測(cè)電子在泛半導(dǎo)體檢測(cè)板圖上的又一重大突破，未來(lái)，精測(cè)電子將繼續(xù)秉持著良率管理專家的行業(yè)定位，深耕品牌，精耕技術(shù)，推動(dòng)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同進(jìn)步，助力行業(yè)快速發(fā)展。

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12寸晶圓光學(xué)檢測(cè)設(shè)備獲重大突破