近期，弗勞恩霍夫激光技術(shù)研究所(ILT)宣布與日本濱松集團合作，共同在德國啟動了一個超短脈沖(USP)激光輻射先進激光材料加工應(yīng)用實驗室。同時，雙方合作開發(fā)了一種工業(yè)加工用途的空間光調(diào)制器(SLM)頭。據(jù)悉，這種SLM頭可以使用定制的動態(tài)光束整形，結(jié)合高激光平均輸出功率，應(yīng)用于一系列廣泛的領(lǐng)域與場景。來自濱松的新型SLM頭的平均輸出功率可達150 W。

超短脈沖(USP)激光輻射幾乎可以以最高的精度加工任何材料。為了增加超短脈沖加工的經(jīng)濟效益，研究人員使用不同的硬件方法來處理超過100 W的高平均激光功率，從而提高處理速度和降低單位成本。

相位掩模用于產(chǎn)生具有來自一個入射光束的并行光束圖案，可以動態(tài)地與SLM一起工作，也可以靜態(tài)地與衍射光學(xué)元件一起工作。根據(jù)研究所的說法，SLM可以動態(tài)地改變相位模式，因此也可以改變波束矩陣，而靜態(tài)衍射光學(xué)元件可以承受更高的平均功率。雙方可以使用基于掃描的工藝頭和集成的大功率SLM來研究制造工藝。

SLM特別適合用于開發(fā)使用USP激光輻射的制造工藝，因為光束的特性可以很輕松地適應(yīng)和定制。這既適用于光束的輪廓，也適用于在一個圖樣中單個光束的排列。在規(guī)?；a(chǎn)中，當(dāng)波束形狀必須動態(tài)改變，SLM就能更好地發(fā)揮優(yōu)勢；而如果束流參數(shù)已知且是靜態(tài)的，那么衍射光學(xué)元件是更好的選擇，因為它不敏感。

在聯(lián)合應(yīng)用實驗室中，雙方已經(jīng)打造出了一個工業(yè)應(yīng)用的原型，將用于推動制造工藝的發(fā)展。此外，雙方團隊還專門研究了不同光束輪廓和聚焦直徑的表面和體積燒蝕。