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近日，科學(xué)技術(shù)部高技術(shù)研究發(fā)展中心以在線會議的方式，組織召開了國家重點研發(fā)計劃“超快激光高精密去除技術(shù)與裝備”項目綜合績效評價會，項目評審專家、承擔(dān)單位和參與單位代表等參加了本次會議。

“超快激光高精密去除技術(shù)與裝備”項目由激光院牽頭，聯(lián)合武漢大學(xué)、深圳清華大學(xué)研究院、北京大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、武漢華工激光工程有限責(zé)任公司、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國科學(xué)院微電子研究所、江陰長電先進(jìn)封裝有限公司、中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所、西安航天精密機電研究所、華天科技（西安）有限公司等13家企事業(yè)單位共同研發(fā)，瞄準(zhǔn)IC制造封裝和航天復(fù)雜構(gòu)件精密制造需求，通過研究超快激光去除材料過程中的應(yīng)力、應(yīng)變、缺陷等形成與演化機制、控制方法等問題，解決難加工半導(dǎo)體材料的除去工藝及裝備等技術(shù)瓶頸，實現(xiàn)高精密去除關(guān)鍵工藝和裝備的自主化和產(chǎn)業(yè)化。

項目負(fù)責(zé)人向參會專家作了項目情況匯報，參會專家審查了相關(guān)材料，并采用視頻的方式查看了項目成果，經(jīng)質(zhì)詢和討論，一致認(rèn)為該項目提供的綜合績效評價材料齊全，同意通過評價。本項目圓滿完成了任務(wù)書規(guī)定的各項內(nèi)容，突破了超快激光高精密、低缺陷去除相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)，建立了超快激光與多種半導(dǎo)體材料的相互作用物理模型并實現(xiàn)動態(tài)仿真，指導(dǎo)了精密開槽、隱切和雕刻3類超快激光加工裝備的研制和多項工藝技術(shù)開發(fā)。所研制的設(shè)備已在IC器件隱形切割、精細(xì)拋光和航天用氣浮軸承激光雕刻等多個領(lǐng)域形成了應(yīng)用，打破了日本DISCO等企業(yè)的技術(shù)壟斷，大幅提高了我國 IC 和航天領(lǐng)域的復(fù)雜構(gòu)件制造能力和水平。

未來，激光院將持續(xù)與國內(nèi)優(yōu)勢單位保持深度交流與合作，不斷加強協(xié)同創(chuàng)新力量，共同推動超快激光新技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化發(fā)展邁上新高度。

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一項國家重點研發(fā)計劃通過項目綜合績效評價