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近日，科學(xué)技術(shù)部高技術(shù)研究發(fā)展中心以在線會(huì)議的方式，組織召開(kāi)了國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“超快激光高精密去除技術(shù)與裝備”項(xiàng)目綜合績(jī)效評(píng)價(jià)會(huì)，項(xiàng)目評(píng)審專家、承擔(dān)單位和參與單位代表等參加了本次會(huì)議。

“超快激光高精密去除技術(shù)與裝備”項(xiàng)目由激光院牽頭，聯(lián)合武漢大學(xué)、深圳清華大學(xué)研究院、北京大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、武漢華工激光工程有限責(zé)任公司、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所、江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司、中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所、西安航天精密機(jī)電研究所、華天科技（西安）有限公司等13家企事業(yè)單位共同研發(fā)，瞄準(zhǔn)IC制造封裝和航天復(fù)雜構(gòu)件精密制造需求，通過(guò)研究超快激光去除材料過(guò)程中的應(yīng)力、應(yīng)變、缺陷等形成與演化機(jī)制、控制方法等問(wèn)題，解決難加工半導(dǎo)體材料的除去工藝及裝備等技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)高精密去除關(guān)鍵工藝和裝備的自主化和產(chǎn)業(yè)化。

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人向參會(huì)專家作了項(xiàng)目情況匯報(bào)，參會(huì)專家審查了相關(guān)材料，并采用視頻的方式查看了項(xiàng)目成果，經(jīng)質(zhì)詢和討論，一致認(rèn)為該項(xiàng)目提供的綜合績(jī)效評(píng)價(jià)材料齊全，同意通過(guò)評(píng)價(jià)。本項(xiàng)目圓滿完成了任務(wù)書規(guī)定的各項(xiàng)內(nèi)容，突破了超快激光高精密、低缺陷去除相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)，建立了超快激光與多種半導(dǎo)體材料的相互作用物理模型并實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)仿真，指導(dǎo)了精密開(kāi)槽、隱切和雕刻3類超快激光加工裝備的研制和多項(xiàng)工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)。所研制的設(shè)備已在IC器件隱形切割、精細(xì)拋光和航天用氣浮軸承激光雕刻等多個(gè)領(lǐng)域形成了應(yīng)用，打破了日本DISCO等企業(yè)的技術(shù)壟斷，大幅提高了我國(guó) IC 和航天領(lǐng)域的復(fù)雜構(gòu)件制造能力和水平。

未來(lái)，激光院將持續(xù)與國(guó)內(nèi)優(yōu)勢(shì)單位保持深度交流與合作，不斷加強(qiáng)協(xié)同創(chuàng)新力量，共同推動(dòng)超快激光新技術(shù)開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化發(fā)展邁上新高度。

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一項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃通過(guò)項(xiàng)目綜合績(jī)效評(píng)價(jià)