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技術(shù)前沿

上海光機所在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進展

激光制造網(wǎng) 來源:上海光機所2023-05-26 我要評論(0 )   

近期,中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所精密光學(xué)制造與檢測中心實驗室在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進展。研究首次證明了激光修形技術(shù)可以在近無應(yīng)力條件下...

近期,中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所精密光學(xué)制造與檢測中心實驗室在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進展。研究首次證明了激光修形技術(shù)可以在近無應(yīng)力條件下,實現(xiàn)納米精度全頻段誤差一致性收斂。相關(guān)研究成果以“Densi-melting effect for ultra-precision laser beam figuring with clustered overlapping technology at full-spatial-frequency”為題發(fā)表于Optics Express。

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圖1 全空間頻率誤差收斂的激光修形示意圖;(a)“致密化-熔融”效應(yīng);(b)重疊集束工藝;(c1,c2)面形誤差;(d1,d2)微米尺度粗糙度誤差;(e1,e2)納米尺度粗糙度誤差(f)功率譜密度曲線。

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上海光機所,激光高精度修形理論,工藝研究,光電,激光,激光企業(yè),激光制造
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