激光制造網 來源：科技日報2024-05-09
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近日，清華大學精密儀器系孫洪波教授和吉林大學陳岐岱教授聯(lián)合團隊，開發(fā)出一種超隱形切割技術，在包括玻璃、激光晶體、鐵電體等多種透明材料中實現(xiàn)了橫向精度10納米，...
近日，清華大學精密儀器系孫洪波教授和吉林大學陳岐岱教授聯(lián)合團隊，開發(fā)出一種超隱形切割技術，在包括玻璃、激光晶體、鐵電體等多種透明材料中實現(xiàn)了橫向精度10納米，深寬比超15000的納米深加工，將目前該領域國際上文獻可查的加工精度提升了10至100倍。相關成果5月8日在線發(fā)表于國際學術期刊《自然·光子學》。
近日，清華大學精密儀器系孫洪波教授和吉林大學陳岐岱教授聯(lián)合團隊，開發(fā)出一種超隱形切割技術，在包括玻璃、激光晶體、鐵電體等多種透明材料中實現(xiàn)了橫向精度10納米，深寬比超15000的納米深加工，將目前該領域國際上文獻可查的加工精度提升了10至100倍。相關成果5月8日在線發(fā)表于國際學術期刊《自然·光子學》。
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