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企業(yè)新聞

蘇州科韻激光取得一種 LED 晶圓片切割專利

激光制造網(wǎng) 來源:金融界2024-08-26 我要評論(0 )   

8 月 25 日消息,天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示,蘇州科韻激光科技有限公司取得一項名為“一種 LED 晶圓片的切割方法、系統(tǒng)及設(shè)備“,授權(quán)公告號 CN114346478B,申請日期為 20...

8 月 25 日消息,天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示,蘇州科韻激光科技有限公司取得一項名為“一種 LED 晶圓片的切割方法、系統(tǒng)及設(shè)備“,授權(quán)公告號 CN114346478B,申請日期為 2022 年 2 月。

專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種 LED 晶圓片的切割方法、系統(tǒng)及設(shè)備,所述方法包括:激光器以脈沖串輸出原始激光束;通過激光束整形組件將所述原始激光束轉(zhuǎn)換成衍射激光光束;所述衍射激光光束經(jīng)過聚焦物鏡聚焦,在 Z 方向上形成若干個焦點;將 LED 晶圓片放置在可以移動的 X、Y 方向平臺上,使聚焦后的衍射激光光束聚焦到所述 LED 晶圓片內(nèi)部,移動 X、Y 方向平臺,沿著移動的方向在所述LED 晶圓片內(nèi)部形成若干個激光炸點;將所述LED 晶圓片通過外力輔助沿所述激光炸點軌跡切割,以形成多個單獨的晶粒。本發(fā)明能夠滿足各類 MiniLED 晶圓片的切割需求,使得切割的晶圓片斜裂角度控制在 2 度以內(nèi),切割無錐度;同時切割后 LED 晶圓片的正面和反面直線度可以控制在 5μm 以內(nèi)。


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