日前,英諾激光向新客戶交付Micro LED關(guān)鍵設(shè)備,此次交付的產(chǎn)品為激光去晶和激光切割設(shè)備,標(biāo)志著公司正得到越來(lái)越多合作伙伴的認(rèn)可。
激光去晶作為“剝離-轉(zhuǎn)移-去晶-補(bǔ)晶-共晶”工藝線的關(guān)鍵制程,其作用是利用領(lǐng)先的激光光束整形和聚焦技術(shù),輔以平臺(tái)控制系統(tǒng),精準(zhǔn)和高效地去除不良芯片、異物、殘膠等,確保晶粒無(wú)損傷、無(wú)粉塵殘留,對(duì)提升巨量轉(zhuǎn)移和修復(fù)制程的良率和效率有重要意義。
激光切割可滿足“剝離-轉(zhuǎn)移-去晶-補(bǔ)晶-共晶”工藝線多段制程的掩膜板、MIP封裝、多種材質(zhì)基板等場(chǎng)景的分切需求,能實(shí)現(xiàn)高精度、高效率的切割效果,具備熱影響小、機(jī)械應(yīng)力小、表面潔凈度高等優(yōu)點(diǎn)。
得益于自身對(duì)Micro LED整線工藝的深刻理解,公司瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)化痛點(diǎn),創(chuàng)新性地采用自主研發(fā)的固體激光技術(shù),從而在該業(yè)務(wù)領(lǐng)域持續(xù)取得突破,近期亦得到當(dāng)?shù)亍白灾鲃?chuàng)新產(chǎn)業(yè)發(fā)展專(zhuān)項(xiàng)”的支持。目前,公司已如期完成涵蓋“剝離-轉(zhuǎn)移-去晶-補(bǔ)晶-共晶”工藝線的關(guān)鍵設(shè)備和工藝的開(kāi)發(fā)工作及材料的驗(yàn)證工作,可承接客戶的打樣需求,加快與多家合作伙伴交流。
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