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- 2024-10-09 15:27科普：EUV 光刻機的 13.5nm 光源是如何實現(xiàn)的？
- 2023-07-03 13:34投資50億日元，這家廠商生產(chǎn)DUV光刻機核心設(shè)備光源
- 2021-10-09 09:25揭秘EUV光刻機中的激光技術(shù)
- 2020-09-22 10:262020年德國未來獎頒給通快、蔡司和弗勞恩霍夫的EUV光刻開發(fā)人員
- 2020-09-07 10:13通快在臺灣設(shè)立激光應(yīng)用中心
- 2020-08-05 09:22上海光機所在UV-NIR超快激光誘導(dǎo)磷硼酸鹽玻璃合成CsPbBr3量子點研究中取得進展
- 2020-07-08 21:20中科院研發(fā)新型激光光刻技術(shù)：不用EUV 直擊5nm
- 2019-10-22 20:23XUV自由電子激光“外衣”下的原子新現(xiàn)象研究取得進展
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