激光器是生產(chǎn)薄膜太陽能電池模塊的重要工具，特別是高性能超短脈沖激光器，其能提供持續(xù)時間僅幾個皮秒的超短脈沖，這不但能幫助制造商提高產(chǎn)量，而且還能優(yōu)化加工工藝。 

目前，在針對解決未來能源問題的討論中，光伏能源作為一種可再生能源扮演著重要角色。技術(shù)進步是實現(xiàn)電能平價消費的一個至關(guān)重要的前提條件，比如通過技術(shù)進步將光伏發(fā)電的成本降低到接近傳統(tǒng)能源的成本。 

目前，晶硅太陽能電池是光伏市場中的主導(dǎo)產(chǎn)品，其轉(zhuǎn)換效率最高達20%。在晶硅太陽能電池的制造過程中，激光器主要用于晶圓切割和邊緣絕緣。 

在激光邊緣絕緣過程中，激光輔助摻雜(doping)工藝用于防止電池正面與背面之間的短路而引起的功率損失。越來越多的激光器被用于激光輔助摻雜工藝中，以改善載流子的遷移率，特別是對于電極的接觸指而言尤為如此。在過去的幾年中，薄膜太陽能電池取得了巨大的發(fā)展，業(yè)界專家們更是希望其未來能在光伏市場中占據(jù)大約20%的市場份額。 

薄膜太陽能電池中所采用的膜層只有幾微米厚，因此其在生產(chǎn)中便能節(jié)約大量材料。在薄膜太陽能電池的制造過程中，激光發(fā)揮著決定性的作用。在整個制造過程中，激光將電池結(jié)構(gòu)化并連接成模塊，并對模塊進行相應(yīng)的刻蝕處理，進而保證所需要的絕緣性能。 

成熟的激光刻線工藝 

在非晶硅或碲化鎘（CdTe）薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)過程中，導(dǎo)電薄膜和光伏薄膜被沉積在大面積玻璃基板上。每層薄膜被沉積后，均利用激光對膜層進行刻蝕，并使各個電池之間自動串聯(lián)起來。這樣，就能夠根據(jù)電池寬度設(shè)定電池和模塊的電流。精確的選擇性非接觸式激光加工，能夠可靠地集成到薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)線中。人們通常所說的刻線就是單個激光脈沖刻蝕的一個連貫過程，該脈沖聚焦后光斑大小為30~80μm，因此在P1層刻線中，要采用脈寬為幾十納秒（10~80ns）的脈沖光對玻璃基底進行刻蝕。

透明導(dǎo)電氧化物（TCO，如ZnO和SnO2）通常使用近紅外激光和相對較高的脈沖重復(fù)頻率進行加工。通常需要的脈沖重復(fù)頻率要超過100kHz。較高的脈沖重復(fù)頻率能夠確保切口處的徹底清潔。 

根據(jù)材料對激光的吸收系數(shù)的不同，需要為特定的加工工藝選擇合適的激光波長。綠激光對于硅的破壞閾值遠(yuǎn)低于其對TCO的破壞閾值，因此綠激光可以安全透過TCO膜層后，對吸收層進行刻線。P2層和P3層的刻線機理與P1層相同。 

單脈沖刻線機理本身的特征對脈沖重復(fù)頻率提出了一定的限制。為了防止接觸面半導(dǎo)體層的脫落，加工過程中需要的典型脈沖重復(fù)頻率為35~45kHz。常用的刻蝕閾值約為2J/cm2，也就是能將25μJ的激光能量聚焦到直徑為40μm的面積上，其平均功率非常低。由于綠光激光器的平均功率均為數(shù)瓦量級，因此能夠?qū)⒐馐止夂筮M行多光束并行加工，從而進一步提高工作效率。 

對于P1、P2和P3層的刻線應(yīng)用而言，用于微加工應(yīng)用的、輸出波長為1064nm和532nm的結(jié)構(gòu)小巧緊湊的二極管泵浦激光器，無疑是無疑是一種理想的選擇，并且這種激光器能夠提供極高的脈沖穩(wěn)定性。這類激光器的脈沖持續(xù)時間為8~ 40ns，脈沖重復(fù)頻率為1~100kHz。