針對(duì)以上題目，我們建議：假如誤差很小(幾個(gè)微米)，可以在光學(xué)鏡組彼此靠近時(shí)設(shè)為基準(zhǔn)值并重做測(cè)試。在開始測(cè)試之前確保光學(xué)鏡組已有充分的時(shí)間適應(yīng)環(huán)境溫度，并讓機(jī)床預(yù)熱，假如溫度或其它環(huán)境條件在測(cè)試期間發(fā)生變化，則可能的原因是激光設(shè)為基準(zhǔn)值時(shí)由于固定和移動(dòng)光學(xué)鏡組之間有間隙而引起絲杠誤差。我們要確保在重新測(cè)試之前，盡可能降低絲杠誤差的可能性。針對(duì)由光學(xué)鏡組適應(yīng)環(huán)境引起的熱漂移題目，在重新測(cè)試之前，我們要確保光學(xué)鏡已有足夠的時(shí)間適應(yīng)環(huán)境溫度。雷尼紹光學(xué)鏡組引起這種誤差的可能性較小，由于鏡組的制作材料是鋁，能夠比鋼更快地適應(yīng)環(huán)境。

　　假如絲杠誤差和熱漂移都不是引起誤差的原因，則有可能是機(jī)械漂移。機(jī)床軸線相對(duì)機(jī)床位置反饋系統(tǒng)發(fā)生移動(dòng)的話，則可能是由于編碼器或線性計(jì)量?jī)x安裝不牢固引起的，這樣，電機(jī)的熱量傳到機(jī)床的機(jī)體中使機(jī)床的溫度逐漸進(jìn)步。由于有這種可能性，即產(chǎn)生移動(dòng)的組件因熱膨脹而移動(dòng)的間隔會(huì)受到物理性限制，若是這種情況，我們可以公道猜測(cè)在一定次數(shù)的測(cè)試之后，誤差(單向)增加的速度將逐漸降低，機(jī)械漂移最有可能產(chǎn)生負(fù)誤差并且所產(chǎn)生的坡度會(huì)是一個(gè)方向比另一個(gè)方向扁平；另外也有可能是由于編碼器信號(hào)有噪音，造成控制器的脈沖計(jì)數(shù)增加，或者編碼器信號(hào)電平與控制器輸進(jìn)不兼容的情況。

8、花瓣形

　　圖3所示的誤差隨時(shí)間和間隔不斷增加使線出現(xiàn)花瓣形。導(dǎo)致花瓣形的可能原因有：(1)在材料溫度傳感器定位不正確或者膨脹系數(shù)不正確。(2)滾珠絲杠在測(cè)試期間溫度進(jìn)步、機(jī)床溫度改變。
 

 
圖3 花瓣形誤差曲線

　　為保證測(cè)試的精確度，建議在開始校準(zhǔn)之前要讓機(jī)床完全預(yù)熱。在圖3中，安裝滾珠絲杠的端部可能正好與行程起始點(diǎn)重合，并且可在另一端產(chǎn)生軸向浮動(dòng)。假如滾珠絲杠在對(duì)端受到限制，圖形將顯示負(fù)坡度。

9、三角形

　　三角形曲線是指誤差呈線性增加，誤差在行程最遠(yuǎn)端機(jī)床反轉(zhuǎn)時(shí)出現(xiàn)躍升，然后在回程測(cè)試回到與軸線起始點(diǎn)時(shí)回到同樣位置上。出現(xiàn)三角形的可能原因是在軸線外端部因?qū)к壞p而出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)。應(yīng)當(dāng)留意的是，反向反射鏡的位置對(duì)顯示的誤差有明顯影響。建議使用角度光學(xué)鏡組直接丈量偏轉(zhuǎn)角，以便對(duì)偏轉(zhuǎn)題目的嚴(yán)重程度有充分的了解。

10、臺(tái)階形

　　圖4顯示的或上或下臺(tái)階沿軸線長(zhǎng)度按一定的間隔出現(xiàn)。出現(xiàn)臺(tái)階形的可能原因在機(jī)床方面：大機(jī)床上各齒條段對(duì)準(zhǔn)不佳或裝配不佳或線性編碼器或感應(yīng)式丈量器分段對(duì)準(zhǔn)不佳或裝配不佳。#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#
 

 
圖4 臺(tái)階形誤差曲線

　　在裝備有齒條和齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的大型機(jī)床上，齒條由很多分別裝配在機(jī)床上的單獨(dú)分段組成，必須確保每段都正確地與其它段對(duì)準(zhǔn)，保證齒輪能夠平滑地從一段轉(zhuǎn)到下一段。假如齒條段未正確對(duì)準(zhǔn)，傳動(dòng)齒輪在經(jīng)過(guò)對(duì)準(zhǔn)不佳的接合點(diǎn)時(shí)可能發(fā)生偏轉(zhuǎn)。這種偏轉(zhuǎn)會(huì)導(dǎo)致丈量值出現(xiàn)突躍臺(tái)階。這種題目可以通過(guò)檢查每個(gè)齒條段的長(zhǎng)度和相對(duì)位置，并與圖形數(shù)據(jù)比較來(lái)查明。

　　綜上分析可以看出，除機(jī)床本身精度不佳會(huì)帶來(lái)上述各種誤差，激光干涉儀操縱不當(dāng)(包括精度不夠穩(wěn)定或采用自身對(duì)溫度影響比較敏感的激光干涉儀系統(tǒng))也會(huì)帶來(lái)較大誤差。