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中國成為全球惟一能制造深紫外激光器的國家
由中國科學院承擔的國家重大科研裝備研制項目“深紫外固態(tài)激光源前沿裝備研制項目”今天在北京通過驗收,使我國成為世界上惟一一個能夠制造實用化深紫外全固態(tài)激光器的國家...
2013-09-07 -
Gigaphoton公司實現(xiàn)LPP EUV激光光源20W功率輸出
近日,Gigaphoton公司在LPP光源技術(shù)的研究上取得重大的突破,實現(xiàn)了高輸出低成本的穩(wěn)定LPP光源,研制出了輸出功率達20W的LPP EUV激光光源,將進一步推動著極EUV光源的發(fā)展。 Gigaphoton 公司18日宣...
2013-08-24 -
華日達成月產(chǎn)150臺紫外激光器產(chǎn)能
華日消息,截止2013年7月底,武漢華日精密激光有限責任公司二期擴產(chǎn)項目已經(jīng)順利完成。生產(chǎn)能力大大提高,目前公司已經(jīng)順利達成月產(chǎn)150臺紫外激光的產(chǎn)能目標,同時完全滿足批量可靠性的...
2013-08-07 -
EKSPLA發(fā)布50w高功率工業(yè)級全固態(tài)皮秒激光器
半導體激光泵浦的全固態(tài)激光器是20世紀80年代末期出現(xiàn)的新型激光器,具有體積小、重量輕、效率高、性能穩(wěn)定、可靠性好、壽命長、光束質(zhì)量高等優(yōu)點,市場需求十分巨大,采用全固態(tài)激光...
2013-06-15 -
極紫外光源光刻技術(shù)離我們還有多遠?
極紫外(EUV)光源可以為晶圓生產(chǎn)提供幾十瓦功率是一個重要的里程碑,預(yù)計今年稍晚些時候可以開始大批量供貨。但對于大規(guī)模生產(chǎn)芯片,其性能還存在嚴峻的挑戰(zhàn)。 回顧半導體光刻歷史,2...
2013-06-12 -
我國首次實現(xiàn)新型深紫外激光輸出
我國首次實現(xiàn) 新型深紫外激光輸出 在十二五863計劃新材料領(lǐng)域先進激光材料及全固態(tài)激光技術(shù)主題項目支持下,中國科學院理化技術(shù)研究所承擔的深紫外激光器及人工晶體關(guān)鍵技術(shù)課題取得重...
2013-05-30 -
紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)獲突破 提升核心競爭力
據(jù)科技部消息,清華大學等單位共同承擔的十二五863計劃新材料領(lǐng)域紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用課題取得重要進展,于近日通過技術(shù)驗收。 課題組解決了厘米級BBSAG晶體生長、非線性晶...
2013-05-27 -
紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)獲突破 提升核心競爭力
據(jù)科技部消息,清華大學等單位共同承擔的十二五863計劃新材料領(lǐng)域紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用課題取得重要進展,于近日通過技術(shù)驗收。 課題組解決了厘米級BBSAG晶體生長、非線性晶...
2013-05-22