所示是為一種典型的CO2激光器結(jié)構(gòu)示意圖。構(gòu)成CO2激光器諧振腔的兩個(gè)反射鏡放置在可供調(diào)節(jié)的腔片架上，最簡(jiǎn)單的方法是將反射鏡直接貼在放電管的兩端。
 

基本結(jié)構(gòu)：
 
①激光管
 
激光器中最關(guān)鍵的部分。通常由三部分組成（如圖1所示）：放電空間（放電管）、水冷套（管）、儲(chǔ)氣管。放電管通常由硬質(zhì)玻璃制成，一般采用層套筒式結(jié)構(gòu)。它能夠影響激光的輸出以及激光輸出的功率，放電管長(zhǎng)度與輸出功率成正比。
 
在一定的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，每米放電管長(zhǎng)度輸出的功率隨總長(zhǎng)度而增加。
 
一般而言，放電管的粗細(xì)對(duì)對(duì)輸出功率沒(méi)有影響。
 
水冷套管的和放電管一樣，都是由硬質(zhì)玻璃制成。它的作用是冷卻工作氣體，使得輸出功率穩(wěn)定。
 
儲(chǔ)氣管與放電管的兩端相連接，即儲(chǔ)氣管的一端有一小孔與放電管相通，另一端經(jīng)過(guò)螺旋形回氣管與放電管相通。它的作用是可以使氣體在放電管中與中循環(huán)流動(dòng)，放電管中的氣體隨時(shí)交換。
 
②光學(xué)諧振腔
 
光學(xué)諧振腔由全反射鏡和部分反射鏡組成，是CO2激光器的重要組成部分。光學(xué)諧振腔通常有三個(gè)作用：控制光束的傳播方向，提高單色性；選定模式；增長(zhǎng)激活介質(zhì)的工作長(zhǎng)度。
 
最簡(jiǎn)單常用的激光器的光學(xué)諧振腔是由相向放置的兩平面鏡（或球面鏡）構(gòu)成。CO2激光器的諧振腔常用平凹腔，反射鏡采用由K8光學(xué)玻璃或光學(xué)石英加工成大曲率半徑的凹面鏡，在鏡面上鍍有高反射率的金屬膜——鍍金膜，使得波長(zhǎng)為10.6μm的光反射率達(dá)98.8％，且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。我們知道二氧化碳發(fā)出的光為紅外光，因此反射鏡需要應(yīng)用透紅外光的材料。因?yàn)槠胀ü鈱W(xué)玻璃對(duì)紅外光不透，就要求在全反射鏡的中心開(kāi)一小孔，再密封上一塊能透過(guò)10.6μm激光的紅外材料，以封閉氣體，這樣就使諧振腔內(nèi)激光的一部分從這一小孔輸出腔外，形成一束激光。
 
③電源及泵浦
 
泵浦源能夠提供能量使工作物質(zhì)中上下能級(jí)間的粒子數(shù)翻轉(zhuǎn)。封閉式CO2激光器的放電電流較小，采用冷電極，陰極用鉬片或鎳片做成圓筒狀。30～40mA的工作電流，陰極圓筒的面積500cm2，不致鏡片污染，在陰極與鏡片之間加一光欄。