引言 

    激光切割加工具有切割精度高、切割速度快、熱效應(yīng)低、無污染、無噪音等優(yōu)點(diǎn)，在汽車、船舶、航空航天和電子工業(yè)中都得到了廣泛的應(yīng)用。而激光切割加工質(zhì)量與激光焦點(diǎn)與工件之間的相對位置有著密切的關(guān)系，保證激光焦點(diǎn)和切割對象之間的合理的相對位置是保證激光切割加工質(zhì)量的關(guān)鍵之一。 

    激光聚焦的焦點(diǎn)位置無法直接測量，但可以通過間接方法檢測。對于一個激光切割加工系統(tǒng)，其焦點(diǎn)位置是由聚焦鏡的光學(xué)焦點(diǎn)決定的，所以在聚焦鏡一定情況下其位置是不變的（不考慮聚焦鏡的熱效應(yīng)），因此可以通過檢測聚焦鏡和被加工對象之間的相對位置來間接檢測焦點(diǎn)和被加工對象之間的位置關(guān)系。 

    激光焦點(diǎn)和被加工對象之間的相對位置可以通過電感位移傳感器和電容傳感器來檢測，在使用中各有優(yōu)缺點(diǎn)。電感傳感器的響應(yīng)頻率較低，不太適用于高速加工和像!維加工這樣需要非接觸檢測的場合；電容傳感器，具有響應(yīng)速度快，檢測精度高等優(yōu)點(diǎn)，但在使用過程中存在非線性和易受激光切割加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣的干擾的影響。 

     本文將系統(tǒng)討論激光切割加工中激光焦點(diǎn)位置誤差的產(chǎn)生途徑和自動消除誤差的控制系統(tǒng)的組成。在此基礎(chǔ)上分別討論了兩種傳感器檢測系統(tǒng)組成以及實(shí)際使用中存在的不足和克服的方法。 

1 激光切割過程中焦點(diǎn)位置誤差的產(chǎn)生 

    在激光切割過程中，產(chǎn)生焦點(diǎn)和被加工對象表面之間相對位置發(fā)生變化的因素很多，被加工工件表面凸凹不平、工件裝夾方式、機(jī)床的幾何誤差以及機(jī)床在負(fù)載力下的變形、工件在加工過程中的熱變形等都會造成激光焦點(diǎn)位置和理想給定位置（編程位置）發(fā)生偏差。有些誤差（如機(jī)床的幾何誤差）具有規(guī)律性，可以通過定量補(bǔ)償方法進(jìn)行補(bǔ)償，但有些誤差為隨機(jī)誤差，只能通過在線檢測和控制來消除，這些誤差是： 

1.1 工件幾何誤差 

     激光切割的對象為板材或覆蓋件型零件，由于各種?因的影響，加工對象表面具有起伏不平，且在切割過程中的熱效應(yīng)的影響也會產(chǎn)生薄板零件的表面變形，對于1維激光加工，覆蓋件在壓制成型過程中也會產(chǎn)生表面的不平，所有這些，都會產(chǎn)生激光焦點(diǎn)與被加工對象表面的位置與理想位置發(fā)生隨機(jī)變化。 

1.2 工件裝夾裝置產(chǎn)生的誤差 

     激光切割加工的工件是放在針狀工作臺上，由于加工誤差、長時間與工件之間的磨損和激光的燒傷，針床會出現(xiàn)凸凹不平，這種不平也會產(chǎn)生薄鋼板和激光焦點(diǎn)之間的位置的隨機(jī)誤差。 

1.3 編程產(chǎn)生的誤差 

     在1維激光切割加工過程中，復(fù)雜曲面上的加工軌跡是通過直線、圓弧等擬合的，這些擬合曲線和實(shí)際曲線存在一定誤差，這些誤差使得實(shí)際焦點(diǎn)和加工對象表面的相對位置和理想編程位置產(chǎn)生一定誤差。而有些示教編程系統(tǒng)也會引入一些偏差。 

2 激光切割過程中焦點(diǎn)位置在線檢測與控制系統(tǒng)的組成 

     如圖1所示，激光切割焦點(diǎn)位置在線檢測與控制系統(tǒng)由控制器、檢測系統(tǒng)、執(zhí)行裝置等部分組成。

   根據(jù)焦點(diǎn)位置檢測控制系統(tǒng)和系統(tǒng)的關(guān)系，焦點(diǎn)位置檢測控制系統(tǒng)分為獨(dú)立式和集成式兩種。 

    獨(dú)立式焦點(diǎn)位置檢測與控制系統(tǒng)采用單獨(dú)的坐標(biāo)軸進(jìn)行焦點(diǎn)位置誤差的補(bǔ)償控制，機(jī)械結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本較高，但可與各種數(shù)控系統(tǒng)和激光切割機(jī)床配合使用。 

     而集成式采用激光切割機(jī)床本身的一個進(jìn)給軸（對平面加工）或多個進(jìn)給軸的合成（對于1維切割加工）運(yùn)動來進(jìn)行焦點(diǎn)位置誤差的補(bǔ)償。這種方式具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低，易于調(diào)整等優(yōu)點(diǎn)，但要求和數(shù)控系統(tǒng)統(tǒng)一設(shè)計，對數(shù)控系統(tǒng)的開放性要求較高。 

2.1 電容傳感器檢測電路 

     如圖2所示，電容傳感器檢測電路由調(diào)諧振蕩器、信號放大器、晶體穩(wěn)頻振蕩器、同步電路、混頻電路、信號處理電路等將電容量信號變成對應(yīng)頻率的脈沖信號，通過對脈沖信號進(jìn)行頻率采樣和處理，得到相應(yīng)的電容量。這里的電容為切割噴嘴和切割對象之間兩個極板形成的電容。顯然其電容量除了與兩個極板的面積有關(guān)外，還與極板之間的介質(zhì)、極板之間的距離有關(guān)。而這個距離就與激光聚焦鏡和工件之間的距離有關(guān)，也就是與激光焦點(diǎn)與工件之間的距離有關(guān)，所以電容量近似和焦點(diǎn)位置與切割對象之間的距離有關(guān)。這就是電容傳感器檢測焦點(diǎn)位置的原理。#p#分頁標(biāo)題#e#

    從圖中可以看出，頻率和焦點(diǎn)位置誤差之間的關(guān)系為非線性關(guān)系，必須通過計算機(jī)進(jìn)行線性化處理。同時，由于電容量還和極板之間的介質(zhì)有關(guān)，所以檢測結(jié)果容易受加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣影響，必須加以克服。 

2.2 電感傳感器檢測電路 
    如圖3所示，由于采用了最新的大規(guī)模集成電路，電感傳感器的檢測電路比較簡單，且集成電路采用了新的調(diào)制解調(diào)方法和算法，減少了以前的檢測外差式調(diào)頻檢測電路方法由于傳感器的激勵信號的相角、頻率以及幅值漂移對檢測結(jié)果的影響，大大提高了檢測精度和穩(wěn)定性。 

    傳感器信號通過處理后得到與傳感器測頭位移成正比的電壓信號，通過變換電路轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的頻率信號，通過計算機(jī)處理得到了焦點(diǎn)的位置誤差信號。

    由于電感傳感器的固有特性，對被測信號的頻率有一定的限制（幾百），不太適用于高速加工場合，同時，由于其為接觸式檢測方式，只能用于平面加工場合。

3 切割過程中等離子云對焦點(diǎn)位置檢測系統(tǒng)的影響 
    在工件尚未被切穿的瞬間，激光和金屬相互作用，在噴嘴和加工對象之間產(chǎn)生云霧狀等離子體，改變電容極板之間的介質(zhì)，從而對電容傳感器產(chǎn)生干擾。在正常切割過程中，輔助氣體將等離子體從切縫中吹散，對電容傳感器產(chǎn)生影響較小。但如果加工速度太快和剛開始切割時，由于工件未被完全切穿，激光照射點(diǎn)附近會產(chǎn)生等離子體云，對電容傳感器產(chǎn)生干擾，嚴(yán)重時甚至使傳感器無法正常工作，嚴(yán)重影響加工質(zhì)量。圖4為等離子體干擾示意圖。

由電磁學(xué)原理可知，相鄰的兩個極板間電容量為 

C=εS/h 
式中ε---極板之間介電常數(shù))一般為(1) 
S---極板相對有效面積 
h---兩極板間距離 

     如果沒有等離子體的干擾，那么，根據(jù)式(1)所測到的電容就和極板（噴嘴和加工對象）之間距離成反比，由電容量可以方便求出兩極板間距離，進(jìn)而求出焦點(diǎn)和被加工對象之間的相對位置。 

    但是，當(dāng)噴嘴和被加工對象之間存在等離子體或噴渣時，電容極板之間的電介質(zhì)就不是空氣了，其介電常數(shù)就發(fā)生變化。由電容原理公式，此時兩個極板間電容量為： 

C'=ε S1 /[(h-h1)+h1ε/ε1 ]+εS2/h (2) 

式中ε1---等離子體的介電常數(shù) 
h1---等離子體云的厚度 
S1 + S2 =S分別為有等離子云或噴渣的區(qū)域和無等離子云或噴渣的區(qū)域的面積。 

如果等離子云均勻分布于噴嘴和被加工對象之間的一定高度范圍之內(nèi)，則電容傳感器所測得的兩極板間距離為： 

h'=(h-h1)+ h1ε/ε1 (3) 

檢測的誤差理論值： 

Δh = h'-h 
= h1 (ε/ε1 -1) (4) 

    從式(4)可知，誤差的大小由極板間等離子體云的厚度及等離子體的介電常數(shù)決定。而等離子體介電常數(shù)具有非常大的值，可以達(dá)到105的數(shù)量級。所以由式(4)可以看出等離子云或噴渣對檢測結(jié)果的影響是非常大的，文獻(xiàn)[2～4]得出，如果等離子體云的厚度為1～2mm，則由電容傳感器檢測的兩極板間距離的理論誤差也達(dá)到1～2mm，顯然達(dá)不到激光焦點(diǎn)位置檢測的精度指標(biāo)（為±0.2mm）。 

4 傳感器優(yōu)化設(shè)計技術(shù)減少等離子云對檢測結(jié)果的影響 

     等離子體對電容傳感器的干擾是由于等離子體改變了電容兩極板之間的介質(zhì)。因此，為了消除等離子體對電容傳感器的干擾，就要使電容兩極板之間的介質(zhì)不受等離子體的影響，可以加大圓環(huán)形極板的中心小孔和將電容傳感器移至等離子云以外兩種方法來實(shí)現(xiàn)。

(1)要消除等離子體對電容量的影響，就要將等離子體置于電容傳感器的極板之外?？紤]到等離子云是沿切割點(diǎn)周圍分布的，因此可以如圖5所示：將圓環(huán)形極板的中心小孔直徑擴(kuò)大至2～3mm并嵌入絕緣的耐高溫陶瓷材料，由于電容傳感器極板是空心的，在不考慮邊緣效應(yīng)的情況下，照射點(diǎn)附近的等離子體云對傳感器電容量和檢測值不產(chǎn)生影響，所以采用這種辦法能有效地減小等離子云的干擾影響。

(2)對于平面激光切割加工，還可以通過機(jī)械傳動方法進(jìn)行間接測量。即通過一機(jī)械裝置跟隨被加工對象運(yùn)動，將機(jī)械裝置的上端和檢測傳感器形成極板，通過檢測傳感器和這個機(jī)械裝置之間的距離來間接檢測激光焦點(diǎn)和被加工對象之間的位置。這種方法可以最大限度避免了離子云和噴渣對檢測精度的影響，也發(fā)揮了電容傳感器響應(yīng)迅速的優(yōu)點(diǎn)。 

5 結(jié)論 

    激光焦點(diǎn)位置檢測與控制是激光切割加工的關(guān)鍵技術(shù)之一，對于快速切割加工，焦點(diǎn)位置檢測精度和快速性將直接影響到焦點(diǎn)位置的控制精度和加工質(zhì)量，電容傳感器具有檢測靈敏度高、響應(yīng)快速的優(yōu)點(diǎn)，可以通過計算機(jī)系統(tǒng)的線性化來克服其非線性； 
    通過特殊的傳感器結(jié)構(gòu)來消除加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣對檢測結(jié)果的影響，提高其在激光切割加工系統(tǒng)中的使用效果。