激光調(diào)阻機(jī)技術(shù)含量較高，需要熟練掌握半導(dǎo)體端面泵浦激光器技術(shù)、激光聚焦與圖像監(jiān)控技術(shù)、同軸數(shù)控軟件與圖像視覺自動識別定位技術(shù)、ATE（自動化測試工裝）等技術(shù)。美國ESI公司和GSI公司是目前國際上主要的激光調(diào)阻機(jī)廠商。在國內(nèi)，目前僅有三工激光公司能自主研發(fā)生產(chǎn)精密激光調(diào)阻機(jī)。也有一些廠商將傳統(tǒng)燈泵浦打標(biāo)機(jī)當(dāng)作激光調(diào)阻機(jī)來做概念宣傳，但因光束質(zhì)量問題，均難以達(dá)到應(yīng)有的效果。

　　三工光電研制的激光調(diào)阻設(shè)備，憑借快速反映能力、在電力電子產(chǎn)品ATE研制方面的專家和具有競爭力的價(jià)格等優(yōu)勢，贏得了客戶的青睞，打破了ESI、GSI等跨國公司對該領(lǐng)域的壟斷。

　　精密激光調(diào)阻機(jī)不同于低端的激光加工設(shè)備，要求結(jié)構(gòu)件、傳動機(jī)構(gòu)等精密、輕巧，控制精度要求高，而且要求激光光束精細(xì)、光斑小、模式好，機(jī)械制造、緊密光學(xué)制造等行業(yè)將受益匪淺。此外，精密激光調(diào)阻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化，還能幫助用戶降低電子元件的生產(chǎn)成本，提升競爭力。

　　應(yīng)用案例 ：

　　應(yīng)用背景

　　A公司的主要業(yè)務(wù)是為各種電氣產(chǎn)品提供配套服務(wù)。為了滿足家用電器、汽車和其他電氣產(chǎn)品的更高要求，該公司的研發(fā)工作主要專注于縮小產(chǎn)品尺寸、提高產(chǎn)品響應(yīng)速度、延長產(chǎn)品使用壽命，并提高產(chǎn)品可靠性。

　　遇到的問題

　　很多電路對電阻的阻值要求十分精確，相對誤差要求達(dá)到千分之幾甚至萬分之幾。然而由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準(zhǔn)確性，基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復(fù)性，厚膜電阻常出現(xiàn)正負(fù)誤差，用現(xiàn)在的制造工藝，相對誤差只能達(dá)到5%，甚至更低，所以必須進(jìn)行電阻微調(diào)，達(dá)到更高精度。

　　現(xiàn)有的操作方式是采用精密電阻人為測量調(diào)整，這種方式需要耗費(fèi)較多人力；或者采用電位器進(jìn)行阻值調(diào)整，但這種方式存在超調(diào)，電位器會回彈，產(chǎn)生電路振蕩，在移動或運(yùn)輸過程中也容易松動，產(chǎn)生參數(shù)漂移。

　　解決方案

　　在與客戶協(xié)商后，三工激光建議客戶使用激光調(diào)阻方案。激光電阻微調(diào)是通過短脈沖激光掃描切割，改變電阻的導(dǎo)電截面積，進(jìn)而把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)。

　　用激光束按一定軌跡照射在電阻膜片上，基片電阻漿料層受激光照射加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變電阻體的導(dǎo)體截面面積和導(dǎo)電體長度，達(dá)到微調(diào)電阻的目的。同時(shí)，對電阻進(jìn)行動態(tài)測量，將測量結(jié)果與設(shè)定阻值進(jìn)行比較，并控制激光的掃射運(yùn)動，達(dá)到預(yù)定的要求。

　　結(jié)果比較

　　激光調(diào)阻的表現(xiàn)證實(shí)了該方案的成功性。激光調(diào)阻幫助客戶降低了電子元器件的制造成本，提高了生產(chǎn)效率，也提升了其新產(chǎn)品研發(fā)能力，縮短了產(chǎn)品開發(fā)周期，提升了公司競爭力。

　　由此可以看到，激光調(diào)阻和傳統(tǒng)調(diào)阻方法相比，具有較大優(yōu)勢，在工業(yè)生產(chǎn)制造領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

　　現(xiàn)代激光調(diào)阻技術(shù)造就高性能混合電路

　　20世紀(jì)60年代初激光器問世一來，經(jīng)過20多年的發(fā)展，現(xiàn)已成為一種非常成熟的技術(shù)，廣泛用于混合電路制造業(yè)。國內(nèi)外不少混合電路廠家都采用激光調(diào)阻工藝。與其他調(diào)阻技術(shù)相比，激光調(diào)阻的精度高，效率高。

　　現(xiàn)代激光技術(shù)是制造高性能混合電路的重要手段?，F(xiàn)代激光調(diào)阻技術(shù)不僅能對厚膜基片進(jìn)行調(diào)阻，而且能對組裝后的混合集成電路進(jìn)行微調(diào)，保證電路的功能。隨著混合電路向高性能、高可靠和高密度發(fā)展，激光調(diào)阻技術(shù)在混合電路制造中的作用日益突出。

　　激光調(diào)阻機(jī)是一種精密的激光微調(diào)設(shè)備，它通過短脈沖激光掃描切割，改變電阻體的導(dǎo)電截面積，達(dá)到把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)，適用于片狀電阻的快速大規(guī)模生產(chǎn)。它的主要構(gòu)成為：一臺輸出脈沖頻率可調(diào)的調(diào)Q脈沖Nd:YAG激光器，輸出波長為1.06μm激光，經(jīng)兩軸偏轉(zhuǎn)后，由光學(xué)系統(tǒng)匯聚成25μm直徑的光斑，照射到載臺上的片式電阻基片上。基片電阻漿料層受激光加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長度。高速高精度在線電阻測量系統(tǒng)，測量電阻器的阻值，當(dāng)阻值達(dá)到標(biāo)稱值時(shí)，由電控開關(guān)關(guān)斷激光，完成此片式電阻的修整過程，全過程用時(shí)5－20ms。由一臺X－Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調(diào)。然后，運(yùn)動控制系統(tǒng)驅(qū)動載片臺向前運(yùn)動一個(gè)行距的位置，重復(fù)上述過程完成第二行調(diào)阻，依此類推，直至調(diào)完一片。所有上述工作在一臺計(jì)算機(jī)統(tǒng)一控制下，協(xié)調(diào)高效地進(jìn)行。

　　激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調(diào)、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調(diào)、光掩膜的修正、具有分布參數(shù)的超高頻電路的微調(diào)、光學(xué)度盤和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域?qū)⒌玫皆絹碓綇V泛的應(yīng)用。