激光刻蝕與同類工藝相比具有明顯優(yōu)勢(shì)，自動(dòng)化技術(shù)水平的提升催動(dòng)加工設(shè)備的市場(chǎng)需求井噴激光刻蝕的基本原理是將高光束質(zhì)量的激光束聚焦成極小光斑，在焦點(diǎn)
處形成高功率密度，使材料在瞬間汽化蒸發(fā)，形成孔、縫、槽。其加工工藝包括激光微納切割、劃片、刻蝕、鉆孔等。
激光刻蝕具有無接觸性、柔性化程度高、加工速度快、無噪聲、熱影響區(qū)小、可聚焦到激光波長(zhǎng)級(jí)的極小光斑等優(yōu)越特性，可以獲得良好的尺寸精度和加工質(zhì)量，在太陽能電池、電子半導(dǎo)體材料等對(duì)加工精度和工藝控制要求較高的領(lǐng)域中應(yīng)用十分廣泛，相關(guān)加工設(shè)備的市場(chǎng)需求增長(zhǎng)較快。
精密材料加工領(lǐng)域，除激光刻蝕方式外，還存在濕法刻蝕、等離子刻蝕等加工工藝，各工藝特點(diǎn)如下表所示：
由上表可見，傳統(tǒng)的激光刻蝕工藝與濕法刻蝕、等離子刻蝕工藝相比，優(yōu)點(diǎn)在于精度控制較好、無污染、成本較低，缺點(diǎn)在于刻蝕速度偏低，難以滿足大批量的生產(chǎn)需要。近年來，隨著自動(dòng)化控制工藝水平和激光加工技術(shù)的進(jìn)步，激光刻蝕工藝的生產(chǎn)效率得到明顯提升，優(yōu)勢(shì)逐步凸顯，使用激光刻蝕工藝的激光加工設(shè)備的市場(chǎng)需求出現(xiàn)井噴，在太陽能電池制造業(yè)和電子半導(dǎo)體工業(yè)產(chǎn)業(yè)中迅速普及，并可推廣應(yīng)用于需要精密加工的各類行業(yè)。
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