原標題：國內首套高能激光器在亦莊誕生

　　本報訊（實習記者 蔣志穎）3月29日，從北京科益虹源光電技術有限公司傳來喜訊，由該公司自主研發(fā)設計生產的首臺高能準分子激光器順利通過出廠驗收。此產品“亦莊智造”以高質量、低成本的優(yōu)勢，填補了國內在準分子激光技術領域的空白，打破了國外廠家對該技術產品的長期市場壟斷。

　　“您現在看到的這個大型器械就是科益虹源自主研發(fā)的準分子激光器，它主要分為三層，每一層的作用都不盡相同。”北京科益虹源光電技術有限公司生產研發(fā)中心副總經理江銳告訴記者，上層叫做高壓脈沖電源（分）系統，它主要是提供激光轉化所需的電子能量，這是一個高強度的電子能量，所以這是一個強電模塊；中間這一塊是關鍵的光學核心模塊，它就是把高壓的電能轉化成高強度的光能；底下的就是關鍵的控制模塊和一些支撐模塊，包括配水、配氣等等，它可以說是整臺激光器的“大腦”，控制著整臺激光器的運作。

　　科益虹源有三款主營產品，分別是光刻用193nm準分子激光器、光刻用248nm準分子激光器以及浸沒式193nm準分子激光器。這家企業(yè)已經掌握了重頻4kHz的193nm準分子光刻光源的核心技術，并開發(fā)出了原理性樣機。此類定型光源產品主要用于90nm和65nm以下節(jié)點的光刻機，此類光刻機占據主要地位，并在更多i-Line升級領域逐漸占領更多市場。隨著工業(yè)4.0的不斷推進，更多工業(yè)智能領域應用的芯片將由90nm光刻機完成。248nm產品的技術基礎與193nm具有較強的相關性，技術難度小，開發(fā)成本低，周期更快，在腔體設計和光學設計中只需要較小的改動，就可以快速完成產品研制，推向市場。

　　據了解，北京科益虹源光電技術有限公司成立于2016年7月，注冊資本1.2億元，依托股東單位中科院光電院、微電子所的技術基礎，亦莊國投、國科控股的產業(yè)及資本力量，致力于打造自主創(chuàng)新型企業(yè)，以具有自主知識產權的準分子激光技術及產品滿足國家和市場需求?？埔婧缭词菄?2重大專項“浸沒式曝光光源研制與小批量產品生產能力建設”的成果產業(yè)化載體，也是作為“三城一區(qū)”科技創(chuàng)新成果轉化落地的一個實例。

　　“科益虹源作為開發(fā)區(qū)光刻機零部件技術創(chuàng)新中心建設的牽頭單位，企業(yè)自主研發(fā)的準分子激光技術及產品成為國內高水平的專業(yè)準分子激光技術解決方案提供商，該項光刻用準分子激光系統打破了美國和日本的長期壟斷地位。我們是目前國內惟一一支從事光刻準分子激光的研發(fā)團隊，現已打破該技術的國際壟斷局面，尤其是在國內專利布局上，目前國家在該領域里70%的專利都出自我們這個小團隊。”

　　科益虹源總經理楊軍紅告訴記者，“公司投產的首臺高能準分子激光器順利通過出廠驗收后，將向中國科學院在西南地區(qū)規(guī)模最大的研究所——中國科學院光電技術研究所提供服務”。

　　“三城”主要是要圍繞著原創(chuàng)創(chuàng)新和重大關鍵技術創(chuàng)新，要為高精尖產業(yè)構建提供源頭活水和技術支撐;“一區(qū)”則是對接三大科學城，讓三大科學城的科技成果在這里集中轉化，形成高端產業(yè)加速聚集的態(tài)勢。北京經濟技術開發(fā)區(qū)管委會副主任陳小男表示：“北京亦莊已經成為高精尖產業(yè)的集聚區(qū)，并且形成了集成電路，能夠生產12英寸、28納米的集成電路芯片，這在世界上屬于第一梯隊；在新能源汽車、奔馳發(fā)動機等核心部件的制造生產方面形成了較大產業(yè)；還有顯示技術，以京東方為代表，現在分辨率已經實現4K，到2022年北京冬奧會的時候將可能出現8K的顯示技術和直播節(jié)目。另外北京亦莊在醫(yī)療制藥和醫(yī)療器械等方面也很有特色，產業(yè)基礎、服務體系和高精尖產業(yè)的發(fā)展環(huán)境已經形成。未來三大科學城的科技成果將在這里集中轉化，形成高精尖高端產業(yè)加速聚集的態(tài)勢，努力打造北京亦莊，中國亦莊，世界亦莊。”