國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)水平

在全球光刻機(jī)領(lǐng)域，世人關(guān)注的不外乎荷蘭ASML，因?yàn)锳SML所研發(fā)的EUV光刻機(jī)是行業(yè)內(nèi)不可逾越的一座大山。想要制造芯片，就離不開(kāi)光刻機(jī)設(shè)備，根據(jù)芯片種類的不同，使用的光刻機(jī)也是不一樣的。

比如生產(chǎn)高端5nm芯片就要用上EUV光刻機(jī)，生產(chǎn)7nm及以上的，DUV光刻機(jī)基本上能夠滿足。而國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)巨頭上海微電子掌握的光刻機(jī)水平是第四代ArF光源，波長(zhǎng)在193nm。

據(jù)市場(chǎng)消息，上海微電子即將在2021年年底左右，發(fā)布28nm制程的浸沒(méi)式光刻機(jī)。距離第五代EUV極紫外光源的光刻機(jī)，還有一定進(jìn)步空間。但已經(jīng)發(fā)展到第四代，相信距離第五代的突破，未來(lái)也一定能實(shí)現(xiàn)。

02高度自研光刻機(jī)

就在這時(shí)候傳來(lái)了一則好消息，中國(guó)激光巨頭大族激光強(qiáng)勢(shì)崛起，正式對(duì)外銷售光刻機(jī)。

據(jù)了解，有投資者向大族激光詢問(wèn)是否考慮研發(fā)光刻機(jī)。大族激光給出了明確的答案。

大族激光回應(yīng)表示，該公司研發(fā)的光刻機(jī)項(xiàng)目分辨率是在3-5um，主要聚焦分立器件，LED領(lǐng)域的應(yīng)用，目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)小批量銷售。

簡(jiǎn)短的一則回復(fù)卻透露出很多信息，首先大族激光研發(fā)的光刻機(jī)主要用于分立器件，LED領(lǐng)域。這部分的市場(chǎng)是撐起國(guó)產(chǎn)高端元器件重要的供應(yīng)鏈，也是不可或缺的一部分。

需求不亞于手機(jī)芯片制造，根據(jù)光刻機(jī)種類的不同，制造的類目產(chǎn)品也是不一樣的。比如日本光刻機(jī)巨頭佳能推出的高性能光刻機(jī)，主要用于生產(chǎn)小型基板。

其次大族激光稱實(shí)行小批量銷售，說(shuō)明在產(chǎn)品的研發(fā)上是取得實(shí)際進(jìn)展的，已經(jīng)正式對(duì)外銷售光刻機(jī)。后續(xù)或許只需要提高產(chǎn)能，擴(kuò)大基礎(chǔ)優(yōu)勢(shì)。最后根據(jù)公開(kāi)資料顯示，大族激光研發(fā)設(shè)計(jì)并生產(chǎn)的設(shè)備，核心零件有90%為自研。所以帶來(lái)了高度自研產(chǎn)品。

03國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)供應(yīng)鏈

從宏觀角度來(lái)看，大族激光作為一家專業(yè)的激光技術(shù)公司，其生產(chǎn)的光刻機(jī)主要面向封測(cè)范疇。但隨著業(yè)務(wù)擴(kuò)展，相信一定能取得更大的進(jìn)步，盡早把90%的自產(chǎn)率提升到100%。

光刻機(jī)需要用上非常多的技術(shù)和零部件，有時(shí)候市場(chǎng)上一家頂尖企業(yè)，可能只是光刻機(jī)其中一個(gè)零件或者技術(shù)的供應(yīng)商。因?yàn)闆](méi)有一家公司能夠完整擁有所有技術(shù)的自產(chǎn)能力。

所以想要制造出頂尖的光刻機(jī)，就需要供應(yīng)鏈的完備。在這一點(diǎn)上，大族激光其中之一，國(guó)內(nèi)還有五家頂尖的核心零部件研發(fā)企業(yè)。

包括長(zhǎng)春國(guó)科精密，這家企業(yè)是一家高端光學(xué)技術(shù)研發(fā)單位，復(fù)雜曝光光學(xué)系統(tǒng)。還有北京科益虹源負(fù)責(zé)提供光刻機(jī)光源系統(tǒng)。北京華卓精科負(fù)責(zé)生產(chǎn)提供光刻機(jī)雙工件臺(tái)，并且延伸出晶圓鍵合設(shè)備，超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等。

北京國(guó)望光學(xué)公司經(jīng)營(yíng)光刻機(jī)高端鏡頭，光電儀器和設(shè)備等等。浙江啟爾機(jī)電主要研發(fā)光刻機(jī)浸沒(méi)系統(tǒng)。

這五大頂尖企業(yè)是國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)供應(yīng)鏈的頂梁柱，為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)保駕護(hù)航。如今再有一個(gè)大族激光強(qiáng)勢(shì)崛起，對(duì)外開(kāi)始銷售光刻機(jī)。這也證明了，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還在持續(xù)進(jìn)步，未來(lái)屬于國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的舞臺(tái)，一定會(huì)閃亮登場(chǎng)。

04總結(jié)

雖然從整體上而言，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)距離國(guó)際主流水平還需要繼續(xù)發(fā)展，但有這些完備的供應(yīng)鏈，遲早有一天會(huì)迎來(lái)屬于國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的未來(lái)。

大族激光帶來(lái)的光刻機(jī)同樣如此，至少在核心零部件方面已經(jīng)達(dá)到了高度自研水準(zhǔn)。隨著國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體市場(chǎng)的關(guān)注，扶持，一定會(huì)投入大量資源助力企業(yè)成長(zhǎng)。人才、設(shè)備、資源等問(wèn)題，都將迎刃而解。

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