典型的封離式基本結(jié)構(gòu)如上圖所示,主要由硬質(zhì)玻璃、諧振腔、電極三部分組成。
1. 硬質(zhì)玻璃部分
這部分由放電管、水冷管、儲(chǔ)氣管和回氣管而組成,其中放電管是CO2 激光器中關(guān)鍵的部件,它基本上決定了激光輸出的特性,放電管長(zhǎng)度與輸出功率成正比。
水冷管的作用是冷卻工作氣體,維持輸出功率穩(wěn)定,而且防止在放電泵浦過(guò)程中,放電管因受熱炸裂。
儲(chǔ)氣管的作用一方面增加了增益介質(zhì)的儲(chǔ)氣量,減少放電過(guò)程中工作氣體成分和壓力的變化,延長(zhǎng)運(yùn)轉(zhuǎn)壽命,另一方面又增強(qiáng)了放電管的機(jī)械強(qiáng)度和穩(wěn)定性。
回氣管是連接放電管中兩個(gè)電極空間的細(xì)螺旋管,可以改善由電泳現(xiàn)象造成的極間電壓的不平衡分布,較長(zhǎng)的回氣管還避免了儲(chǔ)氣罐與電極之間產(chǎn)生放電作用,確保放電只發(fā)生在放電管中。
2. 諧振腔部分
本部件由全反鏡和輸出反射鏡組成。諧振腔的全反鏡一般以光學(xué)玻璃為基底,表面鍍金膜,金膜反射鏡在 10.6um 附近的反射率達(dá)98%以上;諧振腔的輸出反射鏡一般采用能透射 10.6um 輻射的紅外線材料鍺(Ge)為基底,在上面渡上多層介質(zhì)膜而制成。
3. 電極部分
CO2 激光器一般采用冷陰極,形狀為圓筒形,陰極材料選用對(duì)激光器的壽命有很大的影響; 對(duì)陰極材料的基本要求是:濺射率低,氣體吸收率小。
CO2激光管工作原理
CO2分子為線性對(duì)稱分子,兩個(gè)氧原子分別在碳原子的兩側(cè),所表示的是原子的平衡位置。分子里的各原子始終運(yùn)動(dòng)著,要繞其平衡位置不停地振動(dòng)。根據(jù)分子振動(dòng)理論,CO2有三種不同的振動(dòng)方式:
1.兩個(gè)氧原子在垂直于分子軸的方向振動(dòng),且振動(dòng)方向相同,而碳原子則向相反的方向垂直于分子軸振動(dòng)。由于三個(gè)原子的振動(dòng)是同步的,又稱為變形振動(dòng)
2.兩個(gè)氧原子沿分子軸,向相反方向振動(dòng),即兩個(gè)氧在振動(dòng)中同時(shí)達(dá)到振動(dòng)的最大值和平衡值,而此時(shí)分子中的碳原子靜止不動(dòng),因而其振動(dòng)被叫做對(duì)稱振動(dòng)。
3. 三個(gè)原子沿對(duì)稱軸振動(dòng),其中碳原子的振動(dòng)方向與兩個(gè)氧原子相反,又叫反對(duì)稱振動(dòng)能。在這三種不同的振動(dòng)方式中,確定了有不同組別的能級(jí)。
二氧化碳激光是一種分子激光。主要的物質(zhì)是二氧化碳分子。它可以表現(xiàn)多種能量狀態(tài)這要視其震動(dòng)和旋轉(zhuǎn)的形態(tài)而定。
二氧化碳里的混合氣體是由于電子釋放而造成的低壓氣體(通常30-50托)形成的等離子(電漿)。如麥克斯韋-波爾茲曼分布定律所說(shuō),在等離子里,分子呈現(xiàn)多種興奮狀態(tài)。一些會(huì)呈現(xiàn)高能態(tài)(00o1)其表現(xiàn)為不對(duì)稱擺動(dòng)狀態(tài)。
通過(guò)自然散發(fā)這種高能狀態(tài)會(huì)下降到對(duì)稱擺動(dòng)形態(tài)(10o0)以及放射出可能傳播到任何方向的光子(一種波長(zhǎng)10.6μm的光束)。
激發(fā)過(guò)程
CO2激光管中,主要的工作物質(zhì)由CO2,氮?dú)?,氦氣三種氣體組成。其中CO2是產(chǎn)生激光輻射的氣體、氮?dú)饧昂鉃檩o助性氣體。
有了氦氣,可以加速010能級(jí)熱弛預(yù)過(guò)程,更有利于激光能級(jí)100及020的抽空。氮?dú)饧尤胫饕贑O2激光管中起能量傳遞作用,為CO2激光上能級(jí)粒子數(shù)的積累以及大功率高效率的激光輸出起到強(qiáng)有力的作用。
CO2激光管的激發(fā)條件:放電管中,通常輸入幾十mA或幾百mA的直流電流。放電時(shí),放電管中的混合氣體內(nèi)的氮分子由于受到電子的撞擊而被激發(fā)起來(lái)。這時(shí)受到激發(fā)的氮分子便和CO2分子發(fā)生碰撞,N2分子把自己的能量傳遞給CO2分子,CO2分子從低能級(jí)躍遷到高能級(jí)上形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)發(fā)出激光。
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