激發(fā)創(chuàng)造潛能,深耕行業(yè)應用
微電子(集成電路)行業(yè)涉及上游的材料、下游的封裝和應用廠商等,以及制造設備(如光刻機、蝕刻機)等。國家先后制定了相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)劃,大力投資及扶持,引導行業(yè)集中、快速發(fā)展,進而推進微電子技術(shù)、人工智能、生物科技等高新技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展。
大族激光始終立足于“基礎器件技術(shù)領(lǐng)先,行業(yè)裝備深耕應用”發(fā)展戰(zhàn)略,搶抓微電子行業(yè)高速成長、技術(shù)產(chǎn)品加速迭代、產(chǎn)業(yè)布局加快調(diào)整的窗口期;重視科技創(chuàng)新,加快集成電路和微電子產(chǎn)業(yè)行業(yè)應用步伐,協(xié)同各類資源,向微電子產(chǎn)業(yè)高地邁進。 現(xiàn)今激光切割、打標、焊接不僅在生產(chǎn)率方面高于傳統(tǒng)方式,且在質(zhì)量方面也得到顯著提高,擁有龐大的市場體量和廣闊的行業(yè)應用、發(fā)展前景。其中,大族激光在微電子行業(yè)應用領(lǐng)域創(chuàng)新開發(fā)出一系列高質(zhì)量智能化產(chǎn)品/裝備;推動技術(shù)革新和突破,提供更多更好的適應微電子行業(yè)智能化改造和數(shù)智轉(zhuǎn)型的解決方案,加速向價值鏈中高端躍升。 晶圓標記 為滿足日益嚴格的品質(zhì)監(jiān)控和工藝提升要求,確保在后續(xù)制造、測試等工藝流程中能高效管理和追蹤晶圓,可通過高精度打標機在晶圓或晶粒的表面上刻印清晰易讀的字符、一維碼或二維碼等獨特標識。 每個標識都包含了晶圓制造商的特定代碼、單片晶圓序列號等重要信息,以確保晶圓的唯一性和可追溯性,為整個生產(chǎn)流程提供了精確的識別和追溯依據(jù)。 -全自動作業(yè)模式,配備雙臂機械手,顯著提升加工效率 -配備功率檢測系統(tǒng)及標后檢測系統(tǒng),確保加工效果的一致性 -可選配Loadport/SMIF上料模塊,進一步增強了設備的靈活性和實用性 01 全自動晶圓ID標記、DIE標記 02 全自動晶圓透膜標記 03 兼容晶圓正打、反打工藝 芯片開封 芯片開封技術(shù)在芯片設計和研發(fā)階段發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,在不破壞芯片基材和電路整體功能的前提下,去除局部的塑封材料,為后續(xù)測試和分析提供了可能。 相較于傳統(tǒng)化學開封方式,其采用非接觸手段對塑封層進行高精密快速剝離,確保開封的精度和準確性,有效提高良率。適用于多種類型的封裝材料,更加環(huán)保,廣泛應用于芯片和電子元器件測試中。 -適用于高達99%的封裝材料,5Mp獨立的高分辨率攝像機實現(xiàn)精確定位,確保邦定線無損 -專用開封軟件,實時檢測開封過程 失效模式分析:芯片開封后,可以對芯片內(nèi)部進行詳細的電性測試和物理測量,以確定芯片失效的具體模式和機制。這些測試包括測量電壓、電流、功率消耗等參數(shù),從而全面評估芯片的電性能。深入分析失效模式有助于了解芯片設計和制造過程中可能存在的問題,并為改進提供有價值建議。 故障定位:通過開封,暴露出芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu),技術(shù)人員能直接觀察和分析芯片的各種元件和連接。這對于準確判斷故障點非常關(guān)鍵,開封過程中可能采用激光鐳射和化學腐蝕等方法來移除封裝材料和封裝層,從而精準確定故障的位置和性質(zhì)。 樣品制備與觀察:芯片開封后,可以用于樣品的制備,方便后續(xù)在光學顯微鏡下進行觀察和分析。通過觀察芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu),可以進一步了解芯片的工作原理和性能特點。 研發(fā)與實驗:在芯片設計和研發(fā)階段,開封技術(shù)可以用于驗證芯片設計的正確性和可靠性。通過觀察和分析開封后的芯片,可以獲取更多的設計反饋和改進建議。 錫焊(Soldering)是利用錫基合金焊料(釬料)加熱熔化后滲入并填充金屬間連接間隙,與被焊金屬表面形成金屬間共化物(IMC層),從而形成永久連接的一種焊接方法,屬于軟釬焊(450℃以下)。 錫球焊接設備 錫球焊接設備主要包括單工位錫球焊接系統(tǒng)、雙工位錫球焊接系統(tǒng)、Inline激光錫球噴焊工站、攝像頭模組全自動錫球焊工站等,能夠根據(jù)不同的需求精確控制熱源,實現(xiàn)高效、精準焊接。 △單工位錫球焊接系統(tǒng) △雙工位錫球焊接系統(tǒng) △lnline激光錫球噴焊工站 錫球焊接技術(shù)是一種利用激光光源進行錫焊的技術(shù),其激光光源主要為半導體光源(808-980nm),屬于近紅外波段,具有良好熱效應,能實現(xiàn)焊盤的均勻加熱和快速升溫。 激光錫球焊接在觸點焊接方面應用實際案例眾多,尤其在微電子領(lǐng)域,其高精度、高效率的焊接特性得到了廣泛應用。 智能手機雙攝系統(tǒng)觸點焊接:在智能手機制造過程中,雙攝系統(tǒng)的觸點焊接是關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。通過激光束對錫球的精確加熱和熔化,激光錫球焊接能夠確保觸點與焊盤之間的牢固連接,提高雙攝系統(tǒng)的穩(wěn)定性和成像質(zhì)量。 平板電腦主板觸點焊接:平板電腦主板上觸點數(shù)量多,且分布密集,這對焊接精度和效率提出了很高要求。激光錫球焊接技術(shù)通過精確控制激光束的位置和能量,實現(xiàn)對主板上觸點快速、準確焊接。 手機電源鍵觸點:激光錫球焊接通過激光束對錫球加熱和熔化,實現(xiàn)對手機電源鍵觸點的微細焊接。激光束的高能量密度和精確控制使焊接過程快速準確,確保了觸點與焊盤之間的牢固連接。 SIP激光開槽技術(shù)是一種在SIP(系統(tǒng)級封裝)芯片制造過程中廣泛應用的技術(shù),可以實現(xiàn)T型槽、I直通槽、V型槽、Y型槽等多種類型開槽形貌的快速激光成型,這些復雜的開槽形貌對于滿足SIP封裝的多樣化需求至關(guān)重要。 通過精確控制激光功率密度、切割速度和焦點位置等參數(shù),確保開槽的精確度和一致性。開槽后,槽內(nèi)斷面光滑整齊,內(nèi)部無殘留,底面Cu層無損傷、無擊穿,確保SIP封裝的結(jié)構(gòu)完整性和電氣性能。 相比傳統(tǒng)機械切割方法,激光開槽技術(shù)具有更高的加工精度和更快的加工速度,提升了SIP封裝的制造效率。同時,激光開槽后的SIP封裝表面質(zhì)量好,無需進行后續(xù)處理,可直接用于后續(xù)工序,進一步提升封裝品質(zhì)。 -全自動作業(yè),采用自主研發(fā)的控制軟件、高精度運動系統(tǒng)、掃描振鏡及視覺定位系統(tǒng) -具備多拼板切割、自動變焦、漲縮補償?shù)裙δ?,實現(xiàn)產(chǎn)品高精密加工 在信息時代,微電子仍然是一個高速發(fā)展、未來可期的熱門行業(yè),它不僅是全球高科技國力競爭戰(zhàn)略的必爭制高點,還是國家高端制造能力的綜合體現(xiàn)。 現(xiàn)代社會更新迭代較快,著力把控微電子行業(yè)高速成長窗口期,助推行業(yè)應用實現(xiàn)多樣化可視化。大族激光堅持自主創(chuàng)新,積極投入資金、資源、高新技術(shù)人才等,助力打破技術(shù)壟斷,掌握核心制造,構(gòu)成產(chǎn)業(yè)生態(tài)閉環(huán)。
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