在全球低碳經濟與新能源革命的大趨勢下，光熱發(fā)電極有可能成為我國未來份額最大的主導能源。而薄膜太陽能電池作為新一代產品，占領的份額會越來越大。

華工激光一直致力于薄膜太陽能電池激光設備的研發(fā)與生產，從承擔《電子信息產業(yè)發(fā)展基金》項目“薄膜太陽能電池激光精密切割系統研制與產業(yè)化”開發(fā)出了第一代薄膜太陽能刻膜和清邊設備起，到承擔《國家科技支撐計劃》項目“激光精密微細加工技術、裝備研究及工程示范”開發(fā)出了第二代薄膜太陽能刻膜和清邊設備，經過客戶生產現場的驗證，數次的改良和優(yōu)化后，現在華工激光推出了全新的第三代刻膜和清邊設備，并且已經應用到國內主流薄膜電池廠家，而且在臺灣和日本也形成了批量銷售。

 圖1薄膜太陽能激光刻膜設備

華工激光的薄膜太陽能激光刻膜設備主要應用在非晶硅薄膜電池的透明導電膜（SnO2、AZO、ITO）、非晶硅膜（a-Si、μc-Si）、背電極膜（ZnO、Al）等的激光刻膜，碲化鎘CdTe薄膜電池的膜層刻膜，銅銦鎵硒CIGS薄膜電池金屬鉬Mo薄膜、金屬鎳Ni薄膜的刻膜。

華工激光采用兩條技術路線，分光系統和獨立激光器系統。工作臺面采用支撐式或者氣浮式。整機加工速度最大可以達到1500mm/s, 三線刻膜外沿總寬度可達到200μm，保證電池板更大的發(fā)電量。擁有專利的吸塵機構，不僅對激光加工整體部分（全部基板）進行吸塵，玻璃基板移動時依然進行全面吸塵。針對激光/光學部分的溫度漂移，采用壓縮空氣溫度調節(jié)器來保證。出現激光光弱的情況，監(jiān)視器功能自動運行調節(jié)LD電流，保證出光的穩(wěn)定性。

圖2 薄膜太陽能激光清邊設備

華工激光的薄膜太陽能激光清邊設備主要應用在薄膜太陽能電池的周邊鍍膜的刻線絕緣、清邊。

華工激光采用振鏡加龍門的架構，激光器?光學設備?振鏡頭配有循環(huán)冷卻系統，保證設備的穩(wěn)定性。激光器配備功率監(jiān)測，穩(wěn)定輸出功率，可大幅度減少不良產品?；逋ㄟ^7處定位，同時其中2處進行基板尺寸測量。測量精度達到25μm，基板測量的數值經過反饋后進行加工。為了有效的吸塵，吸塵管以分割構造配置在激光加工點的正下方。（邊4處和角4處）邊4處的吸塵管設計為吸塵切換模式，針對激光加工區(qū)集中吸塵，激光加工時吸塵管上升，以最靠近基板的位置加強流量進行吸塵。該吸塵機構實現了完全吸塵的效果。

圖3 紫外激光打標機         圖4光纖激光打標機         圖5 CO2激光打標機

華工激光的薄膜太陽能激光標記設備，選用標準的紫外激光打標機、光纖激光打標機、CO2激光打標機?？芍苯蛹傻疆a線上，進行生產，滿足客戶不同的標記需求。

武漢華工激光工程有限責任公司一直秉承代表國家競爭力，具備國際競爭力。通過自身的強大技術實力消化吸收進口設備，把薄膜太陽能激光設備國產化，并且技術性能指標達到國際一流水平。